klasifikasyon nan CVD

klasifikasyon nan CVD

Dapre diferans ki genyen nan eta faz nòmal CVD sous materyèl reyaktif la, li ka plis defini kòm

1. Sous materyèl gaz: sibstans ki gaz nan tanperati chanm (H2, N2, CH4, Ar, elatriye). Lè yo itilize sous materyèl gaz la, sistèm aparèy kouch la senplifye anpil paske se sèlman to koule gaz reyaksyon an ki bezwen kontwole pa mèt koule a, olye ke tanperati a.

2. Sous materyèl likid: sibstans ki reyaktif ki likid nan tanperati chanm, tankou TiCl4, CH3CN, SiCl4 ak BCl3. Kantite sous materyèl likid k ap antre nan chanm depo a kontwole pa kontwole gaz konpayi asirans lan ak tanperati chofaj lè yo itilize koule materyèl likid la.

3. Sous materyèl solid: Sibstans ki solid nan tanperati chanm, tankou AlCl, NbCl5, TaCl5, ZrCl5 ak HfCl4. Paske sa a kalite materyèl bezwen sublime kantite lajan ki nesesè nan vapè nan yon tanperati ki pi wo, tanperati chofaj la ak kapasite pote a bezwen entèdi kontwole lè w ap itilize sa a kalite pwosesis.

Konpayi IKS PVD, machin kouch dekoratif, machin kouch zouti, machin kouch DLC, machin kouch optik, liy kouch vakyòm PVD, pwojè vire-kle ki disponib. Kontakte nou kounye a, Imèl: iks.pvd@foxmail.com