Konbine sistèm vakyòm ultra-segondè

Konbine sistèm vakyòm ultra-segondè
Pou kèk sistèm vakyòm ak kondisyon espesyal, tankou sa yo ki mande tou de vakyòm ultra-segondè oswa lwil oliv-gratis vakyòm ultra-segondè epi an menm tan an satisfè bezwen yo nan ponpe ki graj ak fè fas ak yon gwo kantite gaz lage pandan pwosesis la, ka sistèm nan konbine dwe itilize satisfè kondisyon yo. Figi 5-16 montre dyagram chematik sistèm vakyòm nan kouvwi ultra-wo vakyòm san lwil oliv la. Ponp prensipal la se ponp ion sputtering, ki ekipe ak yon ponp sublimasyon Titàn yo nan lòd yo amelyore degre nan vakyòm epi retire yon gwo kantite gaz ki pwodui lè materyèl evapore. Degre nan vakyòm ultim ka rive nan 6.67 × 10-7Pa. Se ponp lan Van molekilè itilize kòm ponp lan pre-ponpe nan ponp prensipal la. Anplis de sa, sistèm nan tou ekipe ak yon pèlen adsorption - ponp mekanik ki graj sistèm ponpe, lè presyon an pi gran pase 1333Pa, ponp mekanik la pa fasil pou retounen lwil oliv, vakyòm dirèkteman nan chanm vakyòm ak ponp mekanik la, lè a. presyon chanm vakyòm pi ba pase 1333Pa, ponp mekanik la nan pèlen adsorption 9 soti nan chanm vakyòm kontoune.

▲ Figi 5-16 Dyagram schematic sistèm vakyòm ultra-wo vakyòm coater san lwil oliv: 1- chanm vakyòm 2- ultra-wo vakyòm pòtay valv 3- Ponp iyon sputtering {{7} } Titàn ponp sublimasyon 5- ultra-wo vakyòm valv 6- senyen valv 7- gwo vakyòm valv 8- molekilè van ponp 9- pèlen adsorption 10- mekanik ponp

Konpayi IKS PVD, machin kouch dekoratif, machin kouch zouti, machin kouch DLC, machin kouch optik, liy kouch vakyòm PVD, pwojè vire-kle ki disponib. Kontakte nou kounye a, Imèl: iks.pvd@foxmail.com