CVD komen yo enkli twa kalite sa yo

Oct 17, 2024|

CVD komen yo enkli twa kalite sa yo

APCVD presyon atmosferik depo vapè chimik (AP-CVD), refere a reyaksyon an nan presyon atmosferik ak tanperati 400 ~ 800 degre, yo itilize yo prepare Silisyòm monokristalin, polysilicon, silica, dope fim mens SiO2.

LPCVD ba presyon chimik vapè depozisyon (LP-CVD) refere a preparasyon an nan SiO2 ak PSG / BPSG, nitrure Silisyòm, polysilicon, Si3N4 ak lòt fim mens nan pwosesis la pi wo a 90nm.

3.PECVD plasma amelyore pwodui chimik depo vapè (PE-CVD) se ekipman pwosesis endikap pou kouch izolasyon dyelèktrik depo ak materyèl semi-conducteurs nan pwosesis 28 ~ 90nm. Avantaj li yo se pi ba tanperati depo, pite fim pi wo ak dansite, ak pi vit pousantaj depo, ki apwopriye pou pifò fim mwayen endikap.

Konpayi IKS PVD, machin kouch dekoratif, machin kouch zouti, machin kouch DLC, machin kouch optik, liy kouch vakyòm PVD, pwojè vire-kle ki disponib. Kontakte nou kounye a, Imèl: iks.pvd@foxmail.com

 
Voye rechèch