Devlopman nan sibstans vapè zanmitay mikron yo revize

Devlopman nan sputtering magnetron Titan sib revize

IKS PVD, PVD vakyòm kouch machin fabrike, kontakte avèk nou kounye a, iks.pvd @ foxmail.com

Kòm yon enpòtan fonksyonèl mens fim materyèl nan jaden an nan enfòmasyon elektwonik, titanium wo pite se nan demann rapid ak devlopman rapid nan IC, ekspozisyon avyon Lachin, enèji solè ak lòt endistri yo. Magnetron sputtering technology (PVD) se youn nan teknoloji kle yo pou prepare materyèl fim mens, ak materyèl sib-wo materyèl sputtering materyèl sibstansibl se kle materyèl konsomasyon nan teknoloji sputtering magnetron, ki gen yon prospèksyon aplikasyon mache gwo. Titàn sibstans materyèl tankou materyèl ki gen anpil valè, nan aspè tankou chimik pite, pèfòmans òganizasyonèl gen kondisyon strik, gwo kontni teknik, difikilte pou tretman an se gwo, materyèl sib fabrikasyon antrepriz nan peyi nou an te kòmanse relativman an reta nan jaden an nan segondè -end objektif manifakti materyèl, relativman bak an tèm de pite debaz materyèl anvan tout koreksyon, teknik preparasyon tankou sib kontwòl, teknoloji debaz nan teknoloji bòdi nan ak aletranje tou te gen sèten diferans. Vize nan aplikasyon pou en-wo fen, devlopman nan pèfòmans-wo materyèl sibitman sputtering sib se yon mezi enpòtan nan reyalize rechèch la endepandan ak devlopman nan materyèl kle nan endistri elektwonik manifakti enfòmasyon ak ankouraje transfè a-wo fen ak amelyore nan endistri Titàn .

Aplikasyon ak kondisyon pèfòmans nan sib titan

Magnetron sputtering Ti materyèl sib se sitou itilize nan elektwonik ak endistri enfòmasyon, tankou entegre kous, ekran ekspozisyon avyon ak dekorasyon jaden kouch nan endistri decoration otomobil lakay ou, tankou kouch dekorasyon vè ak dekorasyon kouch dekoratif. Ti materyèl sib materyèl nan endistri diferan yo tou trè diferan, sitou ki gen ladan: pite, mikrostruktur, pèfòmans soude, presizyon dimansyon ak aspè plizyè, kondisyon yo endèks espesifik yo jan sa a :

1) Pite: sikui ki pa entegre: 99,9%; Entegre kous pou: 99.995%, 99.99%.

2) Mikrostruktur: sikui san inègkont: mwayèn grenn mwens pase 100 mikron; Entegre kous: grenn nan mwayèn se mwens pase 30 mikron, mwayèn grenn nan ultrafin se mwens pase 10 mikron

3) pèfòmans soude: ki pa entegre kous: brol, monomer; Entegre sikwi pou: monom, patiraj, soude difizyon

4) presizyon dimansyon: pou sikui ki pa entegre: 0.1mm; Pou sikui ki pa entegre: 0.01mm.

1.1 Ti materyèl sib pou kous entegre

Ti sibit materyèl sibit nan sikwi entegre se sitou pi gran pase 99.995% ak pi wo a, ak kounye a li sitou depann sou enpòtasyon yo. Nan 2013, entegre endistri sikwi Lachin nan reyalize yon revni lavant de 250.8 milya dola Yuan ak yon volim enpòte de 231,3 milya dola nou dola, vin pi gwo komodite enpòte nan Lachin pou premye fwa. Nan 2014, lavant revni de endistri sikwi entegre te 267.2 milya dola Yuan, ak volim enpòte a toujou rive nan 217.6 milya dola nou dola. Materyèl la sib pou kous entegre entegre yon gwo pati nan mache a materyèl sib sou mache.

Ti materyèl sib: pwodiksyon an nan ti-pour Ti se sitou konsantre nan peyi Etazini, Japon ak lòt peyi yo, tankou Honeywell nan peyi Etazini, mach nan Japon ak Osaka endistri Titàn nan Japon. Depi 2010, Beijing enferye rechèch enstiti metal, zunyi endistri Titàn ak Ningbo chuangrun te siksede te lanse pwodwi domestik-wo pite Ti, men estabilite nan pwodwi toujou bezwen yo dwe amelyore.

Ti: estrikti nan devlopman sib materyèl byen bonè fwi pwofi espas se gwo, itilize nan prensipal nan 100 ~ 150 mil machin sputtering machin, ak ti pouvwa, sputtering fim pi epè, gwosè a chip se pi gwo, pèfòmans sèl nan materyèl sib ka satisfè kondisyon an sèvi ak nan machin lan nan tan sa a, kous la entegre ak materyèl sib ti sitou nan 100 ~ 150 mm monomer ak konbinezon de sib, tankou kalite tipik 3180, kalite 3290 materyèl sib, elatriye etap nan dezyèm, selon devlopman lwa Moore, chip, linewidth etwat, fondatè sitou itilize 150 ~ 200 mm machin sputtering, yo nan lòd yo amelyore espas ki la pwofi, machin nan ogmantasyon nan pouvwa Sputtering, sa a egzije pou gwosè a nan ogmantasyon sib, pandan y ap kenbe segondè konduktiviti nan tèmik, pri ki ba ak yon fòs sèten, peryòd sa a ti materyèl sib pa alyaj alyaj backplane difizyon soude ak brotaj nan alyaj kwiv alyaj de estrikti yo bay priyorite, tankou TN nan tipik, TTN kalite, kalite Endura5500 sib materyèl, elatriye Nan twazyèm etap la, ak devlopman nan kous entegre, liy lanjè chip vin pi etwat. Nan tan sa a, faktori fondatè chip sitou itilize 200 ~ 300mm machin sputtering. Yo nan lòd yo ogmante plis espas pwofi, Sputtering pouvwa nan machin yo ogmante, ki mande pou gwosè a nan sib materyèl yo dwe ogmante, pandan w ap kenbe segondè konduktiviti tèmik ak entansite ase. Nan peryòd sa a, ti sib sitou soude ak plak tounen plak kwiv, tankou sib tipik nan SIP.

Ti sibstansman materyèl sib ak aspè manifakti: bonè mache nan kay ak aletranje, pa Etazini, Japon ak lòt manifakti gwo monopoli sib materyèl, apre 2000 ane nan endistri manifakti domestik piti piti nan mache a sib, ba fen sib yo kòmanse enpòte segondè pite Ti pwosesis materyèl anvan tout koreksyon, nan dènye ane yo pa devlopman rapid nan ti domestik sib materyèl fabrikasyon antrepwiz, pati nan mache piti piti elaji nan Taiwan, Ewòp ak Etazini yo ak lòt mache yo, tankou YouYan milyon lò ak Jiang Feng elektwonik de sib antrepriz konsantre materyèl materyèl pou plizyè ane. Domestik antrepriz sib fabrikasyon yo tou ap devlope materyèl sib ansanm ak manifaktirè machin sputtering domestik pou ankouraje devlopman domestik entegre endistri sputtering chan elektrik.

1.2 Ti materyèl sib pou ekspozisyon avyon

Montre panèl Flat gen ladan: ekspozisyon kristal likid (LCD), plasma ekspozisyon (PDP), ekspozisyon luminesans jaden (el), ekspozisyon emisyon jaden (FED).

Koulye a, mache LCD la se pi gwo a nan mache a ekspozisyon panèl plat ak yon pati nan plis pase 90%. LCD yo kwè ke yo dwe pi pwoteksyon aplikasyon an nan plat-panèl ekspozisyon aparèy, li anpil ogmante seri a aplikasyon pou kontwole, monitè yo òdinatè kaye, Desktop òdinatè pou kontwole, definisyon-wo LCD televizyon ak mobil kominikasyon, tout kalite pwodwi nouvo kalite LCD yo frape moun abitid k ap viv, ak ankouraje devlopman rapid nan endistri enfòmasyon nan mond lan. Teknoloji TFT-LCD se yon kalite teknoloji ki konbine mikwo-elektwonik teknoloji ak teknoloji kristal likid abilman. Koulye a, li te vin teknoloji nan endikap nan ekspozisyon avyon, ki se divize an al-mo, al-ti, cu-mo ak lòt pwosesis.

Se fim nan mens nan ekspozisyon planar sitou ki te fòme pa sputtering. Al, Cu, Ti, Mo ak lòt objektif yo se sib metal yo prensipal pou ekspozisyon avyon nan prezan. Pite Ti sib pou ekspozisyon avyon se pi plis pase 99.9%. Sa a materyèl bwit ka fèt nan Lachin. TFT-lcd6 liy jenerasyon itilize plat materyèl sib ti ak gwosè gwo, alyaj kwiv dlo-refwadi tounen sib materyèl sib yo itilize nan estrikti a, ak CLP panda aplike.

Koulye a, liy pi wo jenerasyon nan mond lan poukont bati pa Lachin - liy hefei 10.5 jenerasyon sitou pwodui gwo-gwosè ultra-wo definisyon likid kristal ekspozisyon (uhd), ak yon kapasite konsepsyon de 90,000 substrater vè chak mwa. Gwosè a nan substrater vè se 3,370x2,940mm, ak yon envestisman total de 40 milya dola Yuan. Li pral mete nan pwodiksyon nan dezyèm sezon an nan 2018.

2. Magnetron spouting Ti sib preparasyon teknoloji

Ti teknoloji préparation materyèl ak metòd materyèl sib dapre pwodiksyon pwodiksyon an kapab divize an (ki refere kòm EB billet) ak elektwonik vakyòm kapèt fonn billet soti nan griyaj eksteryè bri gri (ki refere kòm (VAR) billet) de kalite gwo, nan pwosesis pou preparasyon nan materyèl sib, nan adisyon a estrikteman kontwole pite nan materyèl, dansite, gwosè gwosè ak oryantasyon kristal, kondisyon an nan pwosesis tretman chalè, pwosesis la fòme ki vin apre ap bezwen dwe entèdi kontwole, asire bon jan kalite nan sib la materyèl.

Pou materyèl yo anvan tout koreksyon Ti Ti pour, eleman ki soufri ak pwen fizyon segondè nan ti matris yo anjeneral yo retire pa elèktroliz fonn, ak Lè sa a, plis pirifye pa elektwonik vapè fonn k ap fonn. Vaksen elektwonik vapè elektwonik se sèvi ak bonm enèji elektwonik bonbadman sou sifas metal la, ak Lè sa a, tanperati a piti piti ogmante jiskaske metal la fonn. Eleman ki gen presyon vapè segondè yo pral premye nan evapore, ak eleman yo ak presyon ki ba vapè yo ap rete nan fonn lan. Pi gwo diferans ki genyen ant eleman yo enpurte ak presyon vapè nan matris la, pi bon efè a pirifye yo pral. Sepandan, avantaj nan raffinage vakyòm apre k ap fonn se ke eleman impurity nan ti matris ka retire san entwodwi enpurte lòt. Se poutèt sa, lè 99,99% Electolytic Ti se elektwoliz pa SMELTING gwo bout bwa eleman nan yon anviwònman vakyòm segondè (10-4 pi wo a), eleman impurity (Fe, Ko, Cu) ak yon presyon vapè saturation ki pi wo pase presyon nan vapè saturation nan Ti eleman tèt li ( Fe, Ko, Cu) nan materyèl la anvan tout koreksyon yo pral bay priyorite nan vag, konsa tankou diminye kontni an nan enpurte nan matris la ak reyalize bi pou yo pirifye. Ti metal pite a ti ak 99.995 + pite ka jwenn pa konbine de metòd yo.

Pou matyè premyè ak pite 99.9% Ti, Ti 0 ti eponj Ti se sitou itilize yo dwe fonn pa vakyòm konsomasyon elektrik arc ak gwo founo dife, ak Lè sa a, vid la louvri pa cho tou, yo fòme ti-gwosè vid. Ti metal anvan tout koreksyon materyèl de preparasyon an nan de metòd yo nan kontwole tèmik mekanik kontwòl li tout mikwo siklòn sifas se konsistan, Lè sa a, machin, obligatwa, netwaye ak anbalaj pwosesis nan preparasyon an nan kous entegre ak ti sponmèn Ti mikwo, sib materyèl pou 300 mm machin yo itilize pou materyèl segondè segondè Ti sib, an avanse nan sifas sib sputtering anvan procesna ak sputtering redwi enstale sou machin nan Sputtering yo itilize boule sib la sib nan sib (Burningtime).

Ti metòd materyèl preparasyon materyèl nan sikwi entegre gen teknoloji konplèks ak pri relativman wo .

3. Kondisyon teknik pou materyèl sib ti

Yo nan lòd yo asire bon jan kalite a nan depoze fim, bon jan kalite a nan sib materyèl yo dwe entèdi kontwole. Apre yon anpil nan pratik, faktè prensipal yo enfliyanman bon jan kalite a nan materyèl sib ti gen ladan pite, gwosè mwayèn gwosè, oryantasyon kristal ak inifòmite estrikti, fòm jewometrik ak gwosè, elatriye.

3.1 Pite

Pite a nan materyèl sib ti gen yon gwo enfliyans sou pwopriyete yo nan fim sputtering.

Pi wo a pouriti a nan materyèl sib ti, patikil yo eleman mwens impurity nan Sputtering Ti fim, sa ki lakòz pi bon pwopriyete fim, ki gen ladan rezistans korozyon, pwopriyete elektrik ak optik. Sepandan, nan aplikasyon pratik, kondisyon yo pite nan materyèl sib ti pou aplikasyon pou diferan yo diferan. Pou egzanp, kouch la decoration jeneral ak kondisyon ti materyèl pou sib sibite yo pa mande, ak entegre kous, kò ekspozisyon ak lòt jaden ak ti sib kondisyon materyèl pite yo pi wo. Kòm sous la kathode nan sputtering, eleman yo enpurte ak enklizyon pò yo se prensipal la polisyon sous. Enklizyon yo nan vant yo pral fondamantalman retire nan pwosesis la nan deteksyon engredyan lengote nondestructive. Enklizyon yo unremoved stomatal pral pwodwi fenomèn pwent rekòt (Arcing) pandan Sputtering, ak Lè sa a, afekte bon jan kalite a nan fim nan mens. Sepandan, kontni eleman debri kapab sèlman reflete nan rezilta yo nan analiz antye eleman. Pi ba kontni an anpren total se, pi wo a pite a nan materyèl sib ti yo pral. Bonè Domestik domestik pa bon kalite materyèl sib materyèl sputtering, se referans a domestik la ak etranje ti sib materyèl fabrikasyon konpayi, apre yo fin 2013 estanda ki te pibliye pa YS / T893-2013 fim elektwonik ak materyèl segondè pouriti materyèl sib sputtering, règleman twa pouriti Ti materyèl sib sèl kontni anpwente ak kontni anpati total demand diferan, estanda sa a se piti piti estandadize okipe Ti pouriti nan demann mache sib.

3.2 mwayèn grenn gwosè

Anjeneral, ti materyèl sib se nan estrikti polikristalin, ak gwosè grenn sòti nan mikron nan milimèt. Sputtering pousantaj nan ti gwosè grenn sib se pi vit pase sa yo ki nan sib grenn koryas, ak distribisyon an epesè nan sputtering fim depoze se plis inifòm pou objektif ak ti diferans nan gwosè grenn sou sifas vapè. Li jwenn ke si gwosè a grenn nan sibstans Titàn kontwole anba a 100 mikron, ak chanjman nan gwosè grenn yo kenbe nan lespas de 20%, bon jan kalite a nan fim sputtering ka anpil amelyore. Gwosè yo an mwayèn nan ti sib yo dwe itilize nan sikui entegre yo jeneralman oblije gen mwens pase 30 mikron, ak gwosè yo grenn mwayèn yo dwe mwens pase 10 mikron.

3.3 oryantasyon kristalizasyon

Ti metal se yon estrikti ki egziste estagòn. Depi li fasil pou atom Ti sib yo dwe preferansyèlman sputtered nan direksyon atòm ki pi byen aranje ègzagonal pandan Sputtering, pousantaj la Sputtering ka ogmante pa chanje estrikti nan kristal nan materyèl la sib reyalize pousantaj ki pi ba Sputtering. Koulye a, nan fanmi an kristal nan ti sifas sputtering sifas {1013} nan pi sikui entegre se plis pase 60%, oryantasyon an grenn nan materyèl sib pwodwi pa manifaktirè diferan se yon ti kras diferan, ak direksyon an kristal nan Ti sib tou te gen yon gwo enfliyans sou inifòmite epesè nan fim spoutan. Gwosè fim nan ekspozisyon avyon ak dekorasyon kouch se relativman epè, se konsa egzijans nan oryantasyon grenn nan materyèl sib ti se relativman ba.

3.4 inifòmite nan estrikti

Estrikti Estrikti se youn nan endis enpòtan yo pou evalye kalite materyèl sib la. Pou ti sib, se pa sèlman avyon an sputtering nan materyèl sib, men tou, konpozisyon an direksyon nòmal, oryantasyon grenn jaden ak mwayèn inifòm gwosè grenn sou avyon an sputtering yo mande yo. Se sèlman nan fason sa a ka ti fim ak epesè inifòm, bon jan kalite serye ak gwosè konsistan gwosè dwe jwenn nan menm tan an nan lavi sa a ki sèvis nan materyèl sib ti.

3.5 fòm jewometrik ak gwosè

Li se sitou reflete nan presizyon ak bon jan D MACHINING, tankou gwosè machin, sifas planèt, brutality, elatriye Si devyasyon nan Angle nan twou a aliye twò gwo, li pa ka enstale kòrèkteman; Ti epesè ap afekte lavi sèvis nan sib la; Gwosè a nan sifas poze sele ak ren anforse se twò ki graj, ki ap mennen nan pwoblèm vakyòm apre materyèl la sib enstale ak mennen nan flit dlo. Sib trompe tranche sifas ki graj ka fè sifas la nan materyèl la sib se plen nan konsèy rich konvèks, anba efè a nan efè tip, potansyèl la nan konsèy sa yo konvèks yo pral anpil amelyore, konsa dekonpozisyon medya egzeyat, men twò gwo konvèks kalite kwit manje ak estabilite se negatif.

3.6 soude lyezon

Koulye a sou ti / Al dissimilar metal diffusion soude papye rechèch plis, anjeneral pou pwen segondè k ap fonn nan Titàn ak soude difizyon nan pwen k ap fonn ki ba nan materyèl aliminyòm, sitou ki baze sou yon sèl-fason oswa de-fason presyon oswa vakyòm difizyon lye teknoloji nan cho Isostatik peze teknoloji te adopte reyalize Titàn, materyèl metal aliminyòm nan presyon ki wo nan tanperati ki ba lignum diffusion dirèk. Ti / Cu ak Cu alyaj soude manifaktirè domestik gen anpil aplikasyon, men kèk papye rechèch.

4. Prospect nan materyèl sib ti

Global sib fabrikasyon baz yo rapidman rasanble nan pwovens Lazi. Avèk devlopman rapid nan domestik gwo teknoloji endistri tankou semi-conducteurs entegre, ekspozisyon avyon ak dekoratif kouch, sib mache materyèl Lachin nan ap agrandi jou pa jou, e li te piti piti vin youn nan pi gwo zòn nan mond lan demann pou materyèl sib fim mens, ki bay opòtinite ak defi pou devlopman nan sib endistri manifakti Lachin nan manifakti.

Nan dènye ane yo, nan fon endistri entegre sikwi, syans nasyonal ak teknoloji pi gwo pwojè (01, 02, 03) ak fon lokal yo, mennen ekip, envestisman endistri sikwi entegre se yon gwo chalè, dapre estatistik, sèlman 2015, 2016 de ane, domestik la te deklare sou konstriksyon oswa planifikasyon yo kòmanse liy pwodiksyon Wafer se jiska 44, 300 nan yo mm18 atik, atik 200 mm20, 6 150 mm. Kondwi pa demann lan mache gwo, se endistri a materyèl sib mare yo atire atansyon a ak atansyon nan enstiti rechèch syantifik ki enpòtan ak antrepwiz nan peyi Lachin, epi yo te envesti moun, materyèl ak finansye resous nan rechèch la ak devlopman ak pwodiksyon nan mayetik kontwole Splash sib.

Ti materyèl sib, kòm yon branch inik nan sib materyèl jaden, ki te aplike nan tou de pwosesis semi-conducteur Al pwosesis ak Cu, epi ki te lajman itilize nan endistri LCD ak endistri dekoratif kouch. Koulye a, ti materyèl sib r & d ak baz pwodiksyon yo sitou konsantre nan Beijing, guangdong, jiangsu, zhejiang, gansu ak lòt kote. Akòz pite materyèl la anvan tout koreksyon sib la, limit la nan ekipman pwodiksyon ak rechèch teknoloji ak teknoloji devlòpman, Ti sib materyèl manifakti endistri nan peyi nou an toujou nan etap nan bonè, domestik Ti sib materyèl pwodiksyon antrepwiz ki dwe nan bon jan kalite a ak debaz la papòt teknik se ki ba, metòd la tradisyonèl tradisyonèl, sou pri pou pou genyen nivo a ba nan pwodiktè sputtering sib materyèl, oswa pwofi limite OEM faktori. Single echèl pwodiksyon ti, varyete, teknoloji tou se pa ki estab, byen lwen tèlman, Lachin (ki gen ladan Taiwan), se sèlman yon konpayi kèk espesyalize nan pwodiksyon an nan materyèl sib, tankou YouYan milyon dola lò, Jiang Feng elektwonik antrepwiz, pwodiksyon de ti materyèl sib byen lwen lwen pa ka satisfè bezwen yo nan devlopman nan mache a, yon gwo kantite materyèl sib ti toujou bezwen enpòte soti nan aletranje, materyèl bwit nan metal segondè pite Ti materyèl sib gen zouti, men pifò toujou gen konte sou enpòtasyon yo.

Ti materyèl sib, tankou yon kalite materyèl ak objektif espesyal, gen objektif fò aplikasyon ak background background klè. Teknik metòd pou pirifye teknoloji ki separe de metal Ti, EB teknoloji teknoloji vakyòm, Teknoloji teknoloji detèktè detachable, teknoloji anprent poumon, teknoloji pweparasyon ti, teknoloji pweparasyon ti sib, sputtering teknoloji teknoloji, sputtering teknoloji ak teknoloji fim tès pèfòmans tou senpleman etidye Ti sib tèt li pa gen okenn siyifikasyon. R & D ak pwodiksyon materyèl sib ti ak amelyorasyon ki vin apre li yo enplike yon chèn endistriyèl tout antye de materyèl bwit nan manifaktirè mitan-kouran ekipman yo ak manifaktirè materyèl sib, ak en Ti sib kouch chip aplikasyon. Relasyon ki genyen ant pwopriyete materyèl Ti sib ak spidal pwopriyete fim se pa sèlman fezab pou jwenn pwopriyete fim ki satisfè kondisyon aplikasyon yo, men tou, pou pi byen itilize materyèl sib, ki bay plen jwe nan wòl li ak fè pwomosyon devlopman nan endistri materyèl sib.

Se kounye a nan endistri IC nan tè pwensipal Lachin en, opòtinite yo ak defi coexist, si ou pa ka sezi opòtinite pou sib fabrikasyon materyèl, manifakti fim ak ekipman tès, diferans ki genyen ant peyi nou an ak nivo entènasyonal yo pral pi gwo ak pi gwo , pa sèlman kapab reprann okipasyon an etranje nan mache lokal la, plis pa ka patisipe nan konpetisyon an mache entènasyonal.