Efè aktyèl Sous aktyèl la sou pous deposit nan fil fim

Pousantaj nan depo gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans nan fim nan TiN. Fim nan prepare nan yon pousantaj depo segondè se dans ak bon dite ak fòs lyezon, pandan y ap fim nan mens prepare nan yon pousantaj depo pi ba se looser. Deposit pousantaj ak aktyèl sous aktyèl gen yon relasyon gwo, Rechèch te montre ke to a depo nan fim TiN se pwopòsyonèl ak dansite aktyèl la kathode, ak fòmil kalkil li yo se:

R = Jm / e

Nan fòmil la, pousantaj R-depo nan fim mens; J-kathode aktyèl dansite; m-molekilè pwa TiN; chaj elektwonik; ρ-teyorik dansite TiN

Figi 4 se yon dyagram varyasyon nan epesè fim ak chanjman nan aktyèl aktè sous ki mezire pa mikwoskòp elektwonik nan etid sa a. Li ka wè ke kòm sous la arc ogmante aktyèl, to a depo ak epesè nan kouch fim nan TiN, ki se nan akò konplè ak fòmil la. Lè aktyèl sous aktyèl la se 40 A, pousantaj depo a trè ba, ak pousantaj depo TiN fim lan se 625nm / h. Lè aktyèl sous aktyèl la ogmante a 100 A, pousantaj depo TiN a rive nan 1857nm / h anba menm kondisyon yo.

Figi 4 Epesè nan tiN fim chanje ak aktyèl sous aktyèl

Fig. 5 Chanjman chanm tanperati vakyòm ak aktyèl sous aktyèl la

Anplis de sa, si aktyèl la sous ARC ogmante, tou de sib tanperati a sifas ak tanperati chanm nan vakyòm ap ogmante (Figi 5). Sou yon bò, gen plis ti evapore soti nan sib la, se konsa plis Ti patikil pral ionize ak kominike avèk Nyon an ionize yo fòme fim nan TiN. Nan lòt men an, nan sifas la (echantiyon) sifas, akòz ogmantasyon tanperati a, pwosesis la difizyon patikil se pi fasil, se konsa pousantaj la depo fim akselere. An menm tan an, akòz ogmantasyon nan tanperati a nan chanm nan vakyòm, ki soti nan pèspektiv la nan reyaksyon chimik, Ti ak N gen plis chans konbine nan TiN, e konsa yon gwo kantite Nyon yo te reyaji, sa ki lakòz yon ogmantasyon nan degre nan vakyòm nan chanm nan vakyòm, nan yon plasma sparse, Se antrav nan patikil yo nan sifas la nan substra a febli, ak plis patikil rive nan sifas la substra a (echantiyon) ak depo nan yon fim, kidonk to a depo se ogmante.