Materyèl eksperimantal ak metòd pou efè aktyèl Sous kouran sou Estrikti Film eten
Jun 22, 2018| Nan papye sa a, TiN fim mens yo te depoze sou substra asye pur ak Si wafer pa milti-arc ion kouch machin. Te efè a nan aktyèl sous aktyèl sou estrikti a ak pwopriyete tribolojik nan fim ti mens te etidye soti nan prensip la nan milti-arc plak ion.
Materyèl eksperimantal ak metòd
Materyèl la substra se Nerjaveèi asye (1Cr18Ni9Ti) nan 20 mm × 20 mm × 2 mm, ak si wafers. Te preparasyon an nan fim nan fèt sou yon machin milti-arc plak kouch. Te echantiyon an mekanikman poli, alkalwa-lave, ultrason netwaye nan alkòl, epi finalman konplètman cheche nan yon chanm kouch pwòp. Anvan pwosesis la kouch, te substra a netwaye pa Ar + grave pou 5 min. Pousantaj koule nan gaz argon pandan kouch te zewo, ak pousantaj koule fiks de N2 te 0.22 SLM / s. Paramèt yo espesifik espesifik yo ki nan lis nan Tablo 1.
Table.1 TiN fim depo pwosesis paramèt
| Arc Sous Kouran (A) | Presyon (x10 -1 Pa) | Tanperati nan Sudstrate (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Yo te obsève morfoloji sifas la ak morphologie sifas ki ka zo kase nan fim nan pa emisyon jaden optik elektwonik mikroskopi (FE-SEM). Te dite nan fim nan TiN mezire ak yon tèsteur mikwo-hardness ak chaj la se 25 g ak tan an loading se 10 s. Te koyefisyan friksyon nan fim nan mezire pa aparèy laboratwa pwòp tèt ou-chanje. Ti echantiyon fim TiN lan konbine avèk asye A3 pou fòme yon pè pè friksyon. Pandan tès la, se echantiyon anwo a fiks, diskon an asye A3 wotasyon nan friksyon sèk, vitès la wotasyon se 0.87rev / min, ak chaj la eksperimantal se 1N.