Entwodiksyon nan Bias

Vòltè a patipri refere a vòltaj la negatif aplike nan substra a pandan pwosesis la kouch. Se tèminal ki pozitif nan ekipman pou pouvwa a patipri ki konekte nan chanm nan vakyòm, pandan y ap chanm nan vakyòm chita. Se tèminal nan negatif nan vòltaj la patipri ki konekte nan materyo-a. Paske vòltaj la nan tè a jeneralman konsidere yo dwe zewo potansyèl, vòltaj la sou materyèl la ki patipri negatif, refere yo kòm patipri.

1. Fonksyon patipri negatif la

◆ Bay enèji patikil;

◆ Efè chofaj sou substra a;

◆ Retire gaz ak gra pousyè adsorbed sou substra a se benefisye amelyore fòs la lyezon nan fim nan;

◆ Aktive sifas sibstra;

◆ Pou patikil yo gwo nan ile plating gen efè pirifye.

2. Klasifikasyon nan vòltaj patipri

(1) Selon vag la ka divize an:

DC patipri   DC patipri enpulsyonèl

DC supèrpoze batman kè patipri bipolar batman kè

(2) Selon bezwen an pou chanje vòltaj segondè a ak vòltaj ki ba lè yo itilize pouvwa a, li ka divize an:

Pouvwa randman dyagram nan chanje segondè vòltaj ak vòltaj ki ba

Pa bezwen chanje segondè ak ba vòltaj kontinyèl pwodiksyon règleman

Paramèt ajisteman nan ekipman pou pouvwa alimantasyon: patipri anplitid, rapò devwa, frekans, ak ond.

3. Karakteristik nan pwovizyon ekipman pou pouvwa

◆ Nimewo a nan ekstèn pou chak minit.

◆ Deteksyon sansiblite gwo ark (mJ / kW enèji enèji).

4. Chaje karakteristik nan patipri

Chaj la ap travay nan patipri a se plasma, ak ekspozisyon nan plasma reziste lè DC la patipri yo itilize. Pou yon lòt, lè patipri enpulsyon a aplike, plasma a montre reziste + kapasitif, ki ka konsidere kòm yon koneksyon seri de résistances ak kondansateur. Sans capacitance ki te koze pa plak Plasma sou substrate la.