Plasma amelyore CVD, PECVD

Plasma amelyore CVD, PECVD

PECVD se yon pwosesis kote précurseurs gaz yo ionize anba aksyon plasma pou fòme gwoup aktif nan eta eksite. Gwoup aktif sa yo rive nan sifas substra a atravè difizyon ak Lè sa a, sibi reyaksyon chimik pou konplete kwasans fim nan. Endikatè pèfòmans nan ekipman PECVD yo enkli inifòmite fim nan grandi, konpakte, ak kapasite ekipman yo. Yo nan lòd yo asire bon jan kalite a nan fim nan grandi, san konte asire estabilite nan ekipman an, li nesesè metrize ak metrize prensip pwosesis la ak divès faktè ki afekte bon jan kalite a nan fim nan. Faktè ki afekte bon jan kalite pwosesis PECVD a sitou gen ladan aspè sa yo: (1) espas plak ak gwosè chanm reyaksyon an. Flare vòltaj: Yo ta dwe chwazi espas pou vòltaj la flare osi ba ke posib pou diminye potansyèl plasma ak diminye domaj nan substra a. Plak espacement ak chanm pwesyon: lè plak espacement gwo, domaj pou substrate a piti, men, espacement pa ta dwe twò gwo, otreman li pral agrave rebò efè jaden elektrik ak afekte inifòmite depozisyon. Gwosè kavite reyaksyon an ka ogmante pwodiktivite, men li afekte tou inifòmite epesè. (2) Frekans k ap travay nan ekipman pou pouvwa RF la. Rf PECVD anjeneral adopte yon 50kHz -13.56MHz frekans bann RF ekipman pou pouvwa, ki gen gwo frekans ak yon efè bonbadman fò nan iyon nan plasma a. Fim nan depoze se dans, men domaj la nan substra a se tou relativman gwo. Inifòmite nan fim nan depoze nan frekans segondè se evidamman pi bon pase sa ki nan frekans ki ba. Nan moman sa a, paske jaden elektrik la tou pre kwen plak la fèb lè frekans ekipman pou pouvwa RF a ba, vitès depozisyon li yo pral pi ba pase zòn sant plak la, pandan y ap diferans ki genyen ant kwen an ak sant la. zòn yo pral pi piti lè frekans lan wo. (3) RF pouvwa. Pi gwo pouvwa a nan frekans radyo, pi gwo a enèji bonbadman nan iyon, ki se fezab amelyore kalite a nan fim nan depo. Paske ogmantasyon nan pouvwa a pral amelyore konsantrasyon nan radikal gratis nan gaz la, pousantaj depo a leve lineyè ak pouvwa a. Lè pouvwa a ogmante nan yon sèten limit, gaz reyaksyon an konplètman ionize ak radikal gratis yo rive nan saturation, ak pousantaj depo a gen tandans yo dwe ki estab. (4) presyon lè a. Lè fòme plasma, presyon gaz la twò gwo, gaz reyaksyon an nan inite a ogmante, se konsa pousantaj la ogmante, men an menm tan an, presyon lè a twò wo, chemen an mwayèn gratis diminye, ki pa fezab nan depo a. fim pou kouvri etap la. Presyon lè twò ba pral afekte mekanis depo fim nan, sa ki lakòz yon diminisyon nan dansite fim nan, ak fasil yo fòme domaj zegwi. Lè presyon lè a twò wo, reyaksyon polymérisation plasma a evidamman amelyore, sa ki lakòz yon diminisyon nan regilarite rezo a ap grandi ak ogmantasyon nan domaj. (5) tanperati substrate. Enfliyans nan tanperati substra sou bon jan kalite a nan fim nan sitou manti nan dansite eta lokal la, mobilite elèktron, ak pwopriyete optik nan fim nan. Ogmantasyon nan tanperati substra se fezab nan konpansasyon an nan kosyon an sispansyon sou sifas la nan fim nan, ak dansite nan domaj nan fim nan diminye. Tanperati substra a gen ti efè sou pousantaj depo a, men yon gwo efè sou bon jan kalite a nan fim nan. Plis tanperati a pi wo, se pi gwo dansite fim nan depo, tanperati ki wo amelyore reyaksyon sifas la ak amelyore konpozisyon fim nan. High-kapasite tubulaires PECVD se nan gwo demann. Gen yon demann gwo ak ijan pou ekipman PECVD Echafodaj ki wo-enèji nan mache a selil Silisyòm, epi PECVD Echafodaj ki wo-enèji pwodwi espontaneman. Li pral jwe yon wòl enpòtan nan diminye pri konplè nan manifaktirè selil Silisyòm kristal ak kreye pi gwo pouvwa andojèn pou devlopman pi rapid nan selil solè selil Silisyòm kristal. Segondè pwodiksyon tubulaires PECVD ekipman, yon sèl aparèy ka akomode 5 tib pwosesis, kapasite pwodiksyon yon sèl tib te rive nan 400 moso, prèske pa bezwen ogmante tan an pwosesis, yo ka aplike nan 156-162mm Silisyòm wafers, yon kapasite pwodiksyon sèl ka satisfè plis pase 110MW liy pwodiksyon, inifòmite fim se yon bon bagay.

Konpayi IKS PVD, machin kouch dekoratif, machin kouch zouti, machin kouch DLC, machin kouch optik, liy kouch vakyòm PVD, pwojè vire-kle ki disponib. Kontakte nou kounye a, Imèl:iks.pvd@foxmail.com