Objektif ionique

Plak blanch sib ionique sous fòme sou plizyè substrats pa magnetron ionique, baryè ak ion kouvri oubyen lòt kalite sistèm plak blanch sou kondisyon onèt.

Egzijansobjektif ioniquemateryèl ki pi wo pase sa tradisyonèl materyèl endistri. Jeneralman, tankou gwosè,), disponiblite, salte kontni, dansite, N/O/C/S, gwosè ble ak je kontwole. Kondisyon pi wo oubyen èspesyal dwe gen ladan yo: sifas irrégularité, rezistans, ble gwosè inifòmite, konpozisyon ak ifas inifòmite, pwoblèm etranje (ksid) kontan ak gwosè, mayetik perméabilité, dansite sa tout moun anwo nan syèl la ak bon vle ak sa sou. Objektif ionique ki se yon kalite fizik/voye lafimen depozisyon metòd, sa vle di: pou itilize microscope emisyon microscope zam sistèm lan epi konsantre sou materyèl plak blanch, lè sa a, atomes yo laine ap swiv prensip konvèsyon momantòm ak vole kite materyèl pou a substrate pou fim depozisyon. Sa a jan de materyèl ki kouvri l ' te rele objektif ionique.

Magnetron ionique plak blanch se yon nouvo kalite fizik/voye lafimen plak blanch metòd, konpare li a aporasyon plak blanch metòd, ki gen yon avantaj konsiderab nan anpil respè. Magnetron ionique ki te itilize nan anpil jaden tankou yon volye teknoloji.

Teknoloji ionique

Ionique se youn nan pi gwo teknik pou prepare materyèl fim chèch. Li itilize ions ki te pwodwi pa yon sous ion pou akselere ak total nan yon bale pou fòme aktyèl travès à ion yon sa grèv yon sifas on jan ak echanj enèji cinétique ant ions ak on jan lèspas atomes. Atomes sou sifas on jan kite solid a ak depo sou sifas substrate lan. A bombardés solid se bwit pou prepare par déposé fim, ki te rele aobjektif ionique.

Aplikasyon

Ionique objektif yo kesyon sa te poze te itilize nan elektwonik ak endistri enfòmasyon yo, tankou sikui entegre yo, enfòmasyon nan depo, ekspozisyon likid crystal, lazè bliye, aparèy elektwonik kontwòl, etc., ka tou pou aplike pou jaden vè plak blanch, ka tou pou aplike a usure rezistan materyèl, kowozyon tanperati anwo nan syèl la, de décoration ekipman ak endistri yo lòt.

Klasifikasyon

1. selon pou anfòm konnye a, li ka separe ansib kare, fè wonn sib.

2. selon pou konpozisyon a, li ka separe an an metal sib, alyaj sib, en sib konpoze.

3. selon pou aplikasyon pou yo, li ka separe an semiconductor ki gen rapò ak objektif en, sib en par albòm li ki anrejistre, sib en ekspozisyon, sib en superconducting ak objektif en rezistans gwo magnéto.

4. selon pou aplikasyon jaden, li ka separe an objektif microélectroniques, sib teknik albòm li ki anrejistre, sib optique plak zo rèldo, fonn metal presye sib, sib rezistans fim chèch, conducteurs fim sib, sifas modifye sib, sib décoratifs wèbsayt], lektwòd sib, emballage sib ak lòt objektif.

Pwensip Magnetron Ionique

Yon orthogonal chan mayetik ak elektrik jaden ki te aplike ant sputtered sib (katòd) ak Anòd pou ranpli la chanm segondè-bale ak mande inert gaz la (nòmalman, Ar gaz). Leman pèmanan a 250 pou 350 Gaussien chan mayetik, fòmilè ki gen gwo-vòltaj elektrik jaden konpoze jaden Ond orthogonal. Anba aksyon an nan yon jaden elektrik, gaz Ar une antre ions pozitif nan électrons, ak yon sèten negatif anwo nan syèl la vòltaj te aplike pou objektif. Ak enfliyans a chan mayetik, de Yonizasyon électrons yo ak gaz travay la posiblite émis nan objektif yo ogmante, ak à ikid ki nan san fòme tou pwe katòd a. Ar ions akselere vole pou objektif sifas anba Lorentz fòs ak bombard sifas sib nan byen wo vitès ke atomes yo sputtered sou sib swiv prensip ki momantòm konvèsyon ak deplase kite sifas sib pou substrate ak pi gwo enèji cinétique déposé fim.

Magnetron ioniquejeneralman divize tip de:tributaire ionique ak fwekans radyo ionique, nan ki pwensip a tributaire ionique ki poko konn anyen, ak moun yo ki te konn pi vit lè bòs la se par. Ionique fwekans radyo ki plis itilize. San konte le conducteur materyèl yo, men tou ionique materyèl ki pa-conducteurs. Yo ak, li tou pwepare ksid, nitrure ak carbure pa ionique réactive. Si fwekans radyo a ogmante apwè a à ikid ki nan san ionique, ki te microscope cyclotron par (ECR) à ikid ki nan san ionique.

Materyèl de MagnetronIonique sib plak blanch: Fè ionique materyèl plak blanch, alyaj ionique materyèl plak blanch, en ionique materyèl plak blanch, boride en ionique plak blanch materyèl, carbure en ionique materyèl plak blanch, fliyorid en ionique plak blanch materyèl, nitrure en ionique materyèl plak blanch, ksid en ionique plak blanch materyèl, selenide en ionique plak blanch materyèl, silicide en ionique materyèl plak blanch, ilfid en ionique plak blanch materyèl, telluride en ionique plak blanch materyèl ets.