Etid sou Adhesion nan Diamond-Tankou Kabòn (DLC) Films Depoze pa enkli ion Plating Teknoloji - Prensip ak metòd nan eksperyans

Diamond-tankou fim kabòn (DLC fim), kòm nouvo jenerasyon nan materyèl fim optik mens, yo gen ekselan optik, mekanik, elektrik, tèmik ak pwopriyete acoustic. Avèk avantaj ki genyen nan transparan rejyon enfrawouj, segondè dite, segondè konduktiviti tèmik, rezistans fwotman, pwopriyete chimik ki estab, rezistans chòk chalè ak sou sa. Li te gen bon kandida aplikasyon.

Se fim nan DLC depoze pa enpulsyonèl ion plating, ki se yon metòd depo vapè fizik. Metòd la plating se senp. Li pa bezwen ajoute patip negatif nan substra a epi ranpli nenpòt gaz nan chanm vakyòm pandan pwosesis la plating. Pwosesis la PLATING gen repetition bon epi li apwopriye pou gwo pakèt endistriyèl pwodiksyon an. Kouch fim DLC ki kouvwi pa metòd sa a gen pite segondè, bon optik transparans; pwopriyete chimik ki estab ak rezistans mete bon. Li ka itilize kòm yon fim ekselan enfrawouj ak fim pwoteksyon.

Fim kabòn yo dyaman ki te kouvwi pa aparèy vakyòm kouch enpòte soti nan aletranje. Aparèy la gen twa sous ion: yon sous ion gaz itilize pou netwaye ak chofe sifas substra a; yon kode kontinyèl milti-arc iyon ak filtraj mayetik, ak yon metal ti cathode pou kouch la nan kouch la tranzisyon entèmedyè; twazyèm ion sous la se yon sous enpulsyonyon ions ak yon katod grafit ak yon poto arc. Li se itilize pou kouch dyaman tankou fim kabòn.

Prensip la ak metòd pou fè eksperyans

Sous enpulsyonèl yon an konsiste de yon katod, yon anod, ak yon elèktrik koule. Se katod a te fè nan materyèl evapore ak sous la ion gen yon anodik espesyalman te fè. Vaksen arb vakyòm ki te pwodwi pa katod ki nan sous la ion lakòz materyèl la katod nan evapore ak ionize, fòme yon plasma, sou men nan yon sèl, fòme yon kouch sou substra a, epi sou lòt men an, soutni yon egzeyat arc. Mekanis emisyon an elèktron nan egzeyat la frèt cathode se sitou emisyon an elèktron jaden, ak emisyon an jaden bezwen etabli yon fò elektrik jaden sou sifas la kathode. Se poutèt sa, sèlman diferans lan potansyèl ant katod a ak anod nan sous la ion se pa ase, kidonk li se nesesè yo frape arc la. Aparèy la itilize yon elèktrik koule, ki jenere yon ti egzeyat aktyèl ak pre-ionizasyon ant elektwòd yo ak galeri a, epi aplike yon vòltaj ki pa trè wo ant de elèktrod prensipal yo nan katod a ak anod a (jeneralman ant 40V ak 400V). Gaz a ak evaporasyon kraze desann nan fòm yon arc.

Pandan pwosesis travay la, chanm vakyòm lan evakye a 2x10 ^-3 Pa, ak kondansateur C ₁ ak C ₂ yo chaje, bay SCR a yon siyal akselerasyon. Yon ti egzeyat aktyèl ki pwodwi ant elektwòd yo ak galri. Gen yon kouch konduktif ant anod an ak katod la. Kondansasyon C _{1 a} rantre ant katod la ak anod la. Avèk liberasyon an nan depo enèji kondansateur C ₁ , lè enèji a apwovizyone pa kondansateur a pa ase yo kenbe egzeyat, egzeyat la ap sispann.