Nòt eksplikasyon sou vakyòm

Nòt eksplikasyon sou vakyòm

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Definisyon vakyòm

Yon sistèm vakyòm se yon volim mens nan gaz ki anba a presyon atmosferik nan zòn nan.

2. Bwa degre

Degre a nan donn nan yon vakyòm se anjeneral eksprime kòm "vakyòm segondè" ak "vakyòm ba". Yon vakyòm segondè vle di bon, epi yon vakyòm ki ba vle di pòv.

3. Inite Vacuum

Anjeneral, Torr itilize kòm inite a, ak Pa itilize entènasyonalman nan dènye ane yo.

1 detantè = 1/760 atmosfè = 1 milimèt mèki

4. Transfè ant lanmò ak pa

1 palet = 133.322 palettes ou 1 palette = 7.5 fwa 10-3 palettes

5. Mwayèn gratis chemen

Distans an vle di pase pa de kolizyon siksesif nan patikil gaz nan mouvman iregilye tèmik se deziyen pa "depa" a senbòl.

6. koule

Kantite gaz ki ap koule nan nenpòt seksyon nan inite tan, ki eksprime kòm "Q", nan inite Pa · L / s (Pa · L / s) oswa Torr · L / s (Torr · L / s).

7. Gid Flow

Li nan kapasite nan yon liy tiyo vakyòm yo pase nan yon gaz. Inite a se lit pou chak dezyèm (L / s), ak nan yon eta fiks, koule nan tiyo egal a koule nan tiyo divize pa diferans lan presyon ant de bout yo nan tiyo a. Senbòl yo rele U.

U = Q / (P2, P1)

8. Presyon oswa presyon

Fòs ki aplike pa yon molekil gaz pou chak inite zòn nan miray ranpa a nan veso a eksprime kòm P.

9. Estanda presyon atmosferik

Presyon nan 101325 Dain pou chak santimèt kare, senbòl: (ATM).

10. Vacuum ultim

Apre veso vakyòm lan konplètman ponpe, li estabilize nan yon degre vakyòm sèten, ki te rele vakyòm nan ultim. Anjeneral, veso vakyòm lan dwe sibi lè raffinage pou 12 èdtan epi apre sa pou vakyòm 12 èdtan. Se lè final la mezire chak 10 minit. Valè an mwayèn nan 10 fwa se pran kòm valè a vakyòm limit.

11. Pousantaj pousantaj

Nan yon presyon ak tanperati sèten, gaz la ponpe soti nan inlet la ponp nan tan inite yo rele pousantaj la ponpe, oswa to a ponpe. Sp = Q / (p-p0).

12. kalib vakyòm Thermocouple

Yon kalib vakyòm itilize pou mezire degre vakyòm la lè l sèvi avèk potansyèl elektrik la nan tèrmokòl la an relasyon ak tanperati eleman chofaj, ak tanperati eleman an nan relasyon ak kondiksyon chalè gaz la.

13. Ionizasyon kalib vakyòm (cho katedòn izolasyon kalib)

Li konpoze de yon polè pèseptè Echafodaj, yon kadriyaj ak yon filaman ki sitiye nan sant la nan kadriyaj la. Pòl pèseptè echantiyon an se deyò kadriyaj la. Hot ematom kode emisyon molekil gaz iyon, iyon yo kolekte pa pèseptè a, dapre gwosè a ranmasaj iyon ki mezire presyon gaz la nan mèt kay la vakyòm.

14. Kalib vakyòm konpoze

Ki konsiste de yon kalib vakyòm thermocouple ak yon kalib vakyòm cho-kathod izolasyon, seri a nan mezi se ~ 10-5pa.

15. Kalite kowòdone ionizasyon kalib

Gen yon pè plak kathode nan tou de bout nan tib an anodik, anba aksyon an nan ekstèn jaden mayetik, se egzeyat pannin ki te fòme andedan tib an anodik yo pwodwi iyon, ak mèt nan vakyòm nan presyon gaz yo detèmine dapre gwosè a nan ion koule kolekte pa plak la katod.

16. Kalib vakyòm rezistans

Yon kalib vakyòm ki mezire degre nan vakyòm pa vle di nan yon sikwi pon, lè l sèvi avèk prensip la ki rezistans nan eleman chofaj la ki gen rapò ak tanperati ak tanperati a nan eleman an ki gen rapò ak kondiksyon gaz.

17. McLeod kalib vakyòm (kalib vakyòm konprese)

Se gaz la dwe konprese nan yon volim trè ti avèk mèki (oswa lwil oliv), ak Lè sa a, konpare ak diferans lan kolòn likid ant tib ouvè ak fèmen.

18 ak B - Yon kalib

Sa a se yon kalib cho ionizasyon kathode ak yon envers pèseptè. Elektrode pèseptè a se yon filaman, yo mete nan sant la nan kadriyaj la, epi yo mete filaman an deyò kadriyaj la, kidonk diminye enpak mou radyografi.

19. Ponp vakyòm bag dlo

Ponp lan vapè wotasyon yo pwodwi yon bag dlo. Li se yon ponp mekanik vakyòm, ponp lè akòz chanjman nan peryodik nan volim ki genyen ant bag dlo a ak lam la akòz wotasyon ekwazinayon wotasyon.

20. Ponp vakyòm vapè

Li se yon ponp mekanik vakyòm, trase lè pa mouvman an anpeche nan Piston la.

21. Lwil oliv sele mekanik vakyòm ponp

Mekanik ponp vakyòm ak lwil oliv kenbe sele a kapab divize an kalite fiks, Rotary kalite, glisman kalite valv, kalite byoidal ak sou sa.

22. Rasin vakyòm ponp

Mekanik vakyòm ponp ki gen yon pè nan rotor synchrone wo-vitès wotasyon-soulye, ponp sa a pa kapab separeman ponpe, sele lwil oliv, bag dlo ak ponp vakyòm lòt ka dirèkteman echapman atmosfè a.

23. Ponp vakyòm molekilè

Gen yon gwo vitès wotasyon rotor. Lè molekil gaz yo kolizyon avèk lam turbin anwo nan vitès wotasyon yo, yo kondwi nan priz la ak Lè sa a, retire nan ponp lan devan.

24. Ponp vapè dlo diffusion

Yon kouran vapè wo vitès dechaje soti nan bouch la nan ponp lan difizyon. Anba kondisyon molekilè koule, molekil gaz yo kontinyèlman diffusion nan koule a vapè, epi yo konprese pa senti vapè a nan priz la nan etap la ponp pa etap ak Lè sa a, eskli pa ponp lan ansyen.

25. Low tanperati vakyòm ponp

Ponp lan vakyòm itilize kondanse gaz la adsorption sou sifas la tanperati ki ba anba 20K.

26. Fwad frèt (dlo tiyo)

Yon aparèy ki plase ant yon veso vakyòm ak yon ponp pou absòbe gaz oswa kaptire vapè lwil oliv.

27. Air balast valv

Mekanik lwil oliv sele ponp vakyòm sou chanm lan konpresyon yo louvri yon ti twou, epi mete yo sou regilatè a, ak ajiste volim la lè louvri valv la, rotor la nan yon kote patikilye, te pase sa a twou ak chanm lè konprese diminye rapò konpresyon, se konsa tankou fè pi plis nan vapè a kondanse soti nan fèmen a nan ponp lan ak gaz melanje nan wòl nan valv la rele tiyo a ballast gaz.

28. Vacuum jele siye

Vacuum jele siye, konnen tou kòm sublimasyon siye. Lide a se friz materyèl la pou ke dlo a li gen vire nan glas, Lè sa a, sublime glas la nan yon vakyòm sèk deyò.

29. Vaksen evakyasyon

Nan yon anviwònman vakyòm, chofaj ak kouch materyèl la sou substra a yo rele evaporasyon vakyòm, oswa kouch vakyòm.

30. siye vakyòm

Li se yon metòd pou siye atik lè l sèvi avèk pwen an bouyi ki ba nan yon anviwònman vakyòm.

31. Non komen pou sistèm vakyòm

(1) ponp prensipal: nan sistèm vakyòm lan, ponp lan vakyòm yo itilize pou jwenn degre vakyòm ki nesesè pou satisfè egzijans pwosesis espesifik yo, tankou ponp diffusion lwil oliv nan machin kouch vakyòm se ponp prensipal la.

(2) ponp etap devan: ponp lan vakyòm yo itilize pou kenbe presyon yon ponp vakyòm nan etap devan devan etap kritik li yo. Yon rotary vane oswa slide valv ponpe, tankou nan ka yon ponp rasin, se yon forepump.

(3) ponp ki graj: ponp lan vakyòm ki kòmanse ponpe lè anba presyon atmosferik, ak Lè sa a, ponp presyon nan sistèm nan yon lòt ponp vakyòm yo kòmanse travay. Tankou machin vakyòm kouch nan ponp lan tiyo glisman, se ponp lwil oliv koryas.

(4) ponp antretyen: nan sistèm vakyòm, volim lè a piti anpil epi ponp lan pa kapab itilize efektivman. Pou sa ka fèt, yon ti kapasite ponp oksilyè pou kenbe travay ponp prensipal la, ponp sa a rele ponp antretyen. Si se yon ti ponp rotary vane bay nan priz la nan ponp lan difizyon, li se ponp lan antretyen.