Estrès la nan film kouch

Estrès la nan film kouch

I. Klasifikasyon nan estrès fim ak kòz estrès

Estrès entèn la kapab divize an depo entèn estrès ak lòt estrès entèn. Ansyen an se nan pwosesis la nan fim fòme, domaj yo estriktirèl ak efè tèmik ki te fòme nan fim nan lè nukle yo kristal merge youn ak lòt yo pwovoke

. Lè atòm yo faz gaz yo sou fòm piki nan substra a, se yon gwo kantite chalè ki lage pandan pwosesis la fim fòme .Sa a kantite chalè ki ekivalan a yon soulaje substra a, sa ki lakòz jenerasyon an nan estrès, ak nan menm tan an

Depi vapè a fòme nwayo a nan premye etap nan depo substrate, tansyon an sifas grenn yo fè grenn yo adjasan coalesce ak fòm pi gran grenn, sa a coalescence, pral fè enèji sifas li yo diminye, zòn sifas diminye, kontraksyon grenn jaden ak substrate ap anpeche li soti nan coalescing ak réduction, enben, sa ki lakòz fim nan yo pwodwi kondansasyon entèn estrès. Lèt la se akòz fim fòme apre pete

Ekspoze nan atmosfè a oswa atmosfè a nan chanm lan kouch, fim nan ki te pwodwi pa oksidasyon. Pi wo a twa repons yo Si ACTS nan fòs nan fòm lan nan estrès tansyon oswa estrès konpresiv, li pral rive nan koòdone nan baz manbràn

Génération estrès tès. Lè estrès nan taye gwo ase pou simonte Adhesion ant interfaces yo baz manbràn, manbràn la pral krak.

Deformation oswa éfèy, konsa tankou koresponn ak fim nan ak substra, redwi estrès la tèmik nan fim nan, fòmilasyon ki kòrèk la nan fim nan Nan pwosesis la nan depo, kle a nan fòs se diminye estrès la entèn oswa fè de ensistans yo konpanse chak lòt se tou amelyore Adhesion nan fim.

2. th metòd pou jwenn fim estrès ba

Yo nan lòd yo jwenn fim ak estrès ki ba, mezi sa yo ka pran nan preparasyon manbràn :

(1) Chwazi tanperati sibstans ki kòrèk la pou diminye estrès estrès

Yo dwe chwazi depo nan diminye estrès tèmik la lè tanperati a substrate, men tou, yo ta dwe chwazi nan diminye entèn estrès ki pi wo akòz estrikti a fizyon ba fim metal se pwòp estrès ti entèn, estrès tèmik jwe yon wòl prensipal nan moman sa a, tankou preparasyon nan fim yo supkondukture tankou plon fèblan endyòm, substra nan tanperati likid elyòm tèmik kapab zewo, se konsa metal nan pwen k ap fonn, yo ta dwe chwazi yon tanperati substra pi ba sou lòt kalite metal, tanperati substrate ta dwe chwazi kèk pi wo, se konsa kòm Pou yo rive nan bi pou yo diminye estrès entèn yo

Anplis de sa, rezonab seleksyon nan manbràn ak substra, se konsa ke koyefisyan nan ekspansyon tèmik nan de materyèl yo se tou pre fim nan se tou yon fason diminye estrès la tèmik

(2) Kòrèk seleksyon presyon gaz rezidyèl

Depozisyon fim, presyon gaz rezidyèl a twò wo, pwobabilite kolizyon ant molekil vapè ak rezidyèl ap ogmante, ki pa sèlman afekte pousantaj depo, men tou ki te koze pa fenomèn gaye kolizyon ki te pwodwi pa estrikti manbràn o aza epi fè kouch manbràn pore a , fasil oksidasyon nan manbràn la, menm nan kouch la manbràn jenere bul pou kouch andedan kay la presyon gaz rezidyèl se favorab ak tèt nèg, chwazi nan 10 ^-3 -10 -10 ^-4 PA ki apwopriye

(3) Chwa nan depo pousantaj

Pousantaj nan depo depann sou tanperati a, fòm, gwosè, distans ak kapasite evaporasyon nan eleman sous evaporasyon . Chwa nan to depo ta dwe konsidere pa sèlman kondisyon yo pèfòmans ak estrès nan fim nan, men tou, pwosesis la

Kondisyon. Pou fim metal kondwi, ka pousantaj la depozisyon dwe chwazi yo dwe pi gwo, tankou fim nan, gwosè gwosè kòm ti ke posib, estrikti Kontra enfòmèl ant, oksidasyon fèb, sifas klere ak lis, bon konduktivite elektrik. Sou fim nan rezistans yo nan lòd yo ogmante koule nan fim Bon oksidasyon nan manbràn la ki nesesè pou estabilite nan pwodwi a. Se poutèt sa, to a depo ka ralanti desann Gen kèk. Paske pi manbràn dielectrik yo se oksid oswa lòt manbràn konpoze yo, yo kraze lè soksid. Oswa avèk aparèy chofaj pwodui chimik reyaksyon, tou de yo konsène ak evaporasyon tanperati sous, ak kondiksyon nan chalè nan fim dielectric se pòv, soufri lè evaporatite chalè se inegal, yo ta dwe itilize pi piti depo pousantaj kòmsadwa.

(4) Chwa nan epesè fim ak ensidans vapè Angle

Se relasyon ki genyen ant epesè nan fim nan ak presyon an mwayèn rezidyèl yo montre nan figure1-2-7. Epesè a nan fim nan depase 100nm Lè estrès la pa chanje. Sepandan, fòs la taye akòz estrès la nan manbràn nan - baz koòdone

Li se pwopòsyonèl dirèkteman avèk fim epesè a, se konsa fòs a taye ka pi gran pase adezyon a lè epesè fim nan se twò gwo, sa ki lakòz pèt fim nan .

Figi1-2-7 Presyon an mwayèn rezidyèl pandan evaporasyon ak sputtering nan fim an ajan

Li enpòtan tou pou w chwazi ang ensidans vapè a, pou ekipman avèk distans ti evaporasyon, ang ensidans lan

Yo nan lòd yo diminye ang la ensidans, li pi bon depo mwens substrats

Li nesesè. Ang nan ensidans ta dwe jeneralman pa depase 15 ° . Natirèlman, tou ka pase anviwònman an rezonab nan ankadreman moso baz la .Pou rezoud pwoblèm sa a.

( 5) Kontwòl ki apwopriye ak eliminasyon lòt atansyon entèn yo

Lòt estrès entèn la se estrès sitou konpresiv, ki ka apwopriye selon pwopriyete yo estrès nan fim nan pwodwi pandan depozisyon

Kontwòl ak ajisteman, tankou fim nan gen yon pi gwo estrès tansyon, ka fè estrès la plis reyalize yon varyete pi gwo .Kompans lan mityèl nan ensistans.

Anplis de sa, apre yo fin depoze fim, ki apwopriye izolasyon tèmik ka te pote soti nan chanm nan vakyòm, konsa tankou estabilize estrikti a entèn nan fim nan ak fòme yon fim trè mouye fè pwopozisyon sou sifas la. Li enpòtan tou kenbe fim nan ki fèk depoze kòm ekspoze ti kras oswa ki pa gen atmosfè ke posib, sitou lè tanperati a substrate se pi wo pase tanperati chanm