Kalite par depozisyon

Sous ionique yo souvan bay travaymagnetronski itilize fòs elektrik ak jaden teknik pou limiter matyè akize ikid ki nan san pwe sifas sib par la. Nan yon chan mayetik, électrons ki swiv chemins hélicoïdal nan chan mayetik liy, pasyans plis collisions ionisants ak gaz neutres tou pwe a sifas sib ke sa ta san sa pase nan tèt. (Kòm sib materyèl épuisé, wofil ewozyon "ipodwòm chan de kous" yon ka parèt sou sifas sib.) Le gaz la se sonje bagay gaz inert yon bagayAgon. Agon ekstra ions te kreye kòm yon rezilta collisions sa yo mennen a yon pi gwo pousantaj depozisyon. Aikid ki nan sanka tou a soutenu nan yon pi ba presyon chemen sa a. Sputtered atomes neutrally akize ak se konsa pas pa manyetik pèlen an. Zòrèy chaj sou isolation sib kapab evite ak itilize RF ionique kote a sèvi pou siyen paspouki Anòd-katòd a variés yon anwo nan syèl la ki te konn (kouramman13.56 MHz). RF ionique mache byen pou pwodwi trè isolation ksid fim men ak te ajoute adepans pou w RF pouvwa ekipman ak rezo impédance correspondant. Devye jaden teknik la koule soti nan objektif ferromagnetic tou enmède ionique pwosesis la. Sitou conçu par zam trè fò aimants pèmanan ak fèt souvan pou itilize nan lajan asirans.

Ion-travès ionique

Ion-travès ionique (IBS) se yon metòd ki objektif la deyò pou asous ion. Yon sous ki ka travay san okenn chan mayetik tankou nan yonedj cho à Yonizasyon. Nan yonKaufmansous ions ki te pwodwi pa collisions ak électrons ki se pa yon chan mayetik tankou yon magnetron. Yo lè sa a accéléré bò jaden elektrik émanant de yon gwiyad ak yon sib. Menm jan ions yo kite yo neutraliser pa électrons nan yon dezyèm à eksteryè sous la. IBS te gen yon avantaj nan sa a enèji ak flux de ions ka a jete endepandamman. Depi flux ke grèv sib la konpoze de netral atomes, swa isolation oubyen mennen li a la sib ka gen sputtered. IBS te jwenn aplikasyon nan envantè fim koupe tèt yo poudisques plak zo rèldo. Yon presyon dégradé ant sous ion la ak chanm echantiyon an te pwodwi pa mete plaj gaz la nan sous la e te tire nan yon tib antre nan chanm echantiyon an. Sa enregistre gaz ak réduit kontaminasyon nanUHVaplikasyon pou. Pwensipal pwoblèm nan IBS se laj montan antretyen ki mande pou kenbe la ion sous opere.

Réactive ionique

Nan réactive ionique, sputtered matyè ki soufri yon reyaksyon chimik devan revêtement substrate a. A déposé fim se pou sa diferan de materyèl ki vize a. Reyaksyon chimik ki matyè yo ap soufri, se yon gaz réactive vini ak nan chanm ionique a tankou oksijèn oswa Azòt, ksid ak nitrure fim souvan fabriqués itilize réactive ionique. Konpozisyon fim lan kapab sou prigad yo divers relatif pwesyon de gaz inèt ak réactive. Fim stoichiometry, ki se yon paramètre enpòtan pou optimisation fonksyonèl pwopwiyete tankou tansyon nan peche_xak endèks refraksyon de la SiO_x.

Ede moun ion depozisyon

Nan ede moun ion depozisyon (IAD), substrate a an kontak avè l yon dezyèm ion travès opere nan yon pouvwa pi ba pase par zam. Dabitid yon Kaufman sous, tankou ki te itilize nan IBS, founiti travès dezyèm lan. IAD itilize an depokabònnandyaman tankoufòm nan yon substrate. Nenpòt kabòn atomes debakman an sou substrate a ki pa prezante ou kosyon byen nan en crystal dyaman ap pou frape bò poto dezyèm lan.NASAte itilize teknik sa pou yo fè eksperyans ak dépôt dyaman fim souturbinekouto nan ane 1980. IAD te itilize nan aplikasyon endistriyèl enpòtan lòt tankou kreyekabòn amorphe tétraédriquessifas revêtements souDiskèt pou kenbeplateaux ak tèt di tranzisyon an kwiv nitrure revêtements sou implants medikal.

Wo-sib-itilizasyon ionique (HiTUS)

Ionique ka tou jwe pa wè lwen moun ki fè yon gwo dansite ikid ki nan san. Aikid ki nan sante pwodwi nan yon chanm kote ki louvri nan a pi gwo pwosè ti chanm nan, ki genyen sib ak asubstratepou yo ka kouvri. Menm jan an ikid ki nan san te pwodwi kontwole sa a, pa soti nan objektif li menm (jan konvasyonmagnetronionique), laionkouran pou objektif la endepandan te aplike pou objektif vòltaj la.

Kapris-magnetron ionique (HiPIMS)

HiPIMS se yon metòd pou fizik/voye lafimen depozisyon de fim chèch ki baze sou depozisyon par magnetron. HiPIMS utilise pouvwa a mò anwo nan syèl la densité ta kW/cm²an brèf, légumes (impulsions) de quelques nan ti sèvis bisiklèt nan<>

Pwodiksyon gaz ionique

Pwodiksyon gaz yo pran ionique aefè twou katòd, menm vre kilanp twou katòdopere. An mouvman gaz ionique yon gaz travay tankouAgonte mennen nan yon twou nan yon bòs ki depann a yon gwo elèktrik negatif. Ogmante mwayenikid ki nan san densitévin nan tèt yon nan twou katòd an, si la presyon ou gen nan chanm ap iak yon dimansyon caractéristiquesLde katòd twou a obeyi aLwa Paschen a0.5 Pa·m<>p i·L < 5="" pa·m.="" this="" causes="" a="" high="" flux="" of="" ions="" on="" the="" surrounding="" surfaces="" and="" a="" large="" sputter="" effect.="" the="" hollow-cathode="" based="" gas="" flow="" sputtering="" may="" thus="" be="" associated="" with="" large="" deposition="" rates="" up="" to="" values="" of="" a="" few="">