Ki sa ki vide depozisyon

Depozisyon à se yon fanmi ki pratik ki te itilize pou depo poze materyèl Atòm pa Atòm oubyen Molekil pa Molekil yo sou yon sifas on jan. Pratik sa yo ap opere nan pwesyon byen anba pwesyon atmosphère (i.e., à). Déposé lejèman yo ka ranje ant yon epesè Atòm yon sèl moute milimèt, kreye estrikti autonome. Miltip poze yo diferan materyèl ka sèvi, pa egzanp pou revêtements ptik fòm. Pwosè a ka a kalifye ki baze sou sous/voye lafimen,depozisyon fizik/voye lafimen itilize yon sous likid oubyen on jan ak chimik/voye lafimen depozisyon yo itilize yon chimik/voye lafimen.

Dekri teren

Anviwònman à la ka sèvi youn oubyen plis rezon:

● diminye dansite renn a lè sa a, mechan lib chemen pou kolizyon lontan

● diminye dansite renn a pas atomes ak molécules (contaminants)

● founi yon anviwonman ikid ki nan san ti bay/fè presyon

● bay yon mwayen pou gaz contrôle l ak konpozisyon/voye lafimen

● bay yon mwayen pou kontwole pwodiksyon mas nan chanm otomatik a.

Condensation matyè kapab fè te pwodwi nan plizyè fason:

● tèmik aporasyon, aporasyon (depozisyon)

● ionique

● ak cathodique Evaporasyon

● lazè ablation

● dekonpozisyon yon chimik/voye lafimen précurseurs, depozisyon chimik/voye lafimen

Nan réactive depozisyon, dépôt materyèl reyaji ni ak yon konpozan gaz anviwònman (Ti + N→Eten) oubyen ak yon co-dépôt espèces (Ti + C → TiC). Yon anviwonman ikid ki nan san sida nan activation gaz espèces (N₂→ 2N) ak nan dekonpozisyon (SiH, aux chimik/voye lafimen₄→ Si + 4 H). A ikid ki nan san ka tou pou itilize pou founi ions pou Evaporasyon pa ionique oubyen pou bonbadman sou substrate la pou ale gaye netwaye yo ak pou bonbadman sou dépôt materyèl pou densify sipò ak ayè pwopwiyete (ion kouvri).

Tip

Ki lè/voye lafimen sous la se yon ikid oubyen on jan pwosesis la te rele depozisyon fizik/voye lafimen (PVD). Lè sous la se yon précurseurs chimik/voye lafimen, pwosesis la rele depozisyon chimik/voye lafimen (CVD). Lèt a gen plizyè variantes: pression chimik/voye lafimen depozisyon (LPCVD), depozisyon ikid ki nan san améliorée chimik/voye lafimen (PECVD) ak ede moun ikid ki nan san CVD (PACVD). Souvan yon konbinezon de PVD e CVD pratik yo te itilize nan menm, ni connecté otomatik chanm yo.

Aplikasyon pou

● Elèktrik conduction: fim métalliques, ajou D' conducteur (TCO), fim superconducting ak revêtements

Aparèy semiconductor: semiconductor fim, électrique isolation fim

● Cellules solè

● Ptik fim: anti meditativ revêtements, filtres ptik

● Meditativ revêtements: glas, cho glas

● Plak blanch tribological: di revêtements, mouri kite ewozyon revêtements, on jan fim grès machin

● Konsèvasyon enèji ak pitit an pitit: bese tèt emissivity vè revêtements, solèy absorption revêtements, glas, cellules photovoltaïques solèy fim chèch, fim fè mal

● Fim mayetik: teknik albòm li ki anrejistre

● Piblikasyon baryè: permeation baryè, / voye lafimen permeation baryè, on jan eta piblikasyon baryè nan gaz yo

● Kowozyon pwoteksyon

● Otomobil aplikasyon: lanp catadioptres e trim aplikasyon pou

● Vinyl rekò Sur, envantè dosye an lò ak Platimyòm

Yon epesè mwens ke yon micrometre jeneralman te rele yon fim mèg pandan yon pesè plis pase yon micrometre te rele yon plak blanch.