Egzanp aplikasyon nan ponp kryogènik nan fou anwo nan syèl la Vacuum

Egzanp aplikasyon nan ponp kryogene nan ultra-wo gwo founo dife

  IKS PVD, PVD vakyòm kouch machin fabrike, kontakte avèk nou kounye a, iks.pvd @ foxmail

Plis pase dis ane de sa, li te kòmanse pou aplike pou kylojenik ponp ak sèk ponp lwil oliv-gratis sistèm nan vakyòm teknoloji elektwonik ekipman ki gen rapò pwosesis yo jwenn vakyòm ultra-segondè ak efè satisfezan. Tantativ sa a pral piyo kriyojenik vit, pwòp ak serye avantaj inik nan aplikasyon an nan gwo founo dife vakyòm. Se ponp lan kryogènik enkòpore nan sistèm nan vakyòm yo reyalize yon pwòp anviwònman vakyòm ultra-segondè. Papye sa a entwodui aplikasyon an nan ponp kryogene nan gwo fatra vakyòm segondè ak yon egzanp. Papye sa a sitou entwodui lide konsepsyon sistèm vakyòm kryogenik, konfigirasyon prensipal la ak zafè ki bezwen atansyon nan sistèm vakyòm lan, kalkil la nan seleksyon kalite ponp kyoyènik, ak entwodui enstalasyon, itilize ak antretyen nan sistèm nan ponp kyogènik an detay ak metòd grafik. Li se nan referans valè nan rechèch la ak devlopman nan founo vakyòm menm jan ak aplikasyon an nan kylojèn ponp. Atravè kontwòl strik nan tout rechèch ak devlopman lyen, netwaye, degassing ak boulanjri nan akò ak espesifikasyon ultra-segondè vakyòm, presyon an ultim nan founo a vakyòm rive nan 2 x 10-7pa, pwolonje presyon limit la nan fou a vakyòm konvansyonèl pa prèske yon lòd grandè. Nan dènye ane ponp yo vakyòm lwil oliv gratis yo te entwodwi ak lajman itilize nan endistri semi-conducteurs. Se poutèt sa, lwil oliv gratis-ultra-segondè sistèm akizisyon vakyòm ki reprezante pa ponp kyo ak ponp sèk ki te lajman ankouraje nan semi-kondiktè elektwonik teknoloji, sistèm optik kouch ak jaden avyon.

Pa bese tanperati sifas ekran an mwens pase 20k nan mwayen ba-tanperati, sifas ekstraksyon a ka kondanse gaz la ak tanperati ki pi ba bouyi, konsa tankou ekstrè yon gwo kantite gaz. Itilize nan sifas ki ba-tanperati ponpe yo pral kondanse gaz ponpe ponp ki rele ponp kyo, oswa kondanse ponp. Li se yon aparèy ki kondanse, adsorbs oswa kondans + adsorbs gaz la apre yo fin itilize ba-tanperati mwayen diminye tanperati a sifas yo, konsa tankou diminye presyon nan espas ki la ponpe ak jwenn vakyòm oswa kenbe eta vakyòm.

Kòm yon sistèm ponpye konplè, ponp lan kryogenik konpoze de de pati, kò a prensipal se kò a ponp vakyòm, ak dezyèm pati a se COMPRESSOR la. Se ponp lan kriyojenik nan frijidè machin lajman itilize kounye a, nwayo a nan ki se machin nan frijidè kriyojenik. Pwosesis debaz la se jan sa a: gaz elyòm se premyèman konprese nan tanperati ki wo ak presyon; Lè sa a, li refwadi nan tanperati elyòm nan yon echanjeur chalè. Peryòd elyabat-wo-pouri a se lè sa a adiabatikman elaji pa silenn lan yo vin iltriti ba-tanperati. Se konsa, li ale ozalantou ak otou, ak elyòm la vin refwadi, epi li vin tounen yon frijidè mwayen - kriyojenik elyòm.

Avantaj nan chwazi ponp kyogènik yo enkli:

(1) pwòp, pa gen okenn lwil oliv, lajè ran de ekstraksyon gaz, ka byen vit jwenn ideyal ultra-segondè vakyòm anviwònman an;

(2) ak dyamèt la menm nan ponp vakyòm lòt, ponp kyo gen yon pi gwo vitès ponpe, espesyalman kapasite nan ekstrè vapè dlo;

(3) pa gen okenn chwa yo dwe ponpe gaz, patikil anpati epi yo pa afekte travay la sistèm;

(4) ka enstale nan nenpòt ki Angle, pa gen okenn pati deplase, pa bezwen ponp lan devan, kouri ak antretyen pri ki ba;

(5) Ekspozisyon nan atmosfè a gen yon ti enpak sou sistèm nan, apre dlo a COMPRESSOR ka pwoteksyon tèt li, se konsa ka reyalize poukont li.

Design nan sistèm vakyòm

Vacuum foyer chwazi sistèm ponp kyojèn, pwoblèm nan pi gwo se yo rezoud chay la chalè. Chofaj chalè nan gwo founo dife vapè sitou soti nan twa aspè:

(1) soti nan bò nan radyasyon chalè a chofaj;

(2) eta glasye koule, molekil gaz pote chalè;

(3) soti nan kondwi nan bouch ponp ponp chalè ak chalè radyasyon.

Kiyojenik ponp travay nan eta molekilè koule, sous chalè ii ka inyore. Sous chalè (3) ka elimine lè yo ajoute estrikti refwadi dlo. Enfliyans chaj chalè ki soti nan kò fri sou ponp kyogènik konsidere nan konsepsyon an. Multilayer ekran reflektè metal yo chwazi nan gwo fou a vakyòm. Tanperati tanperati chofaj fwomaj se 1300 ℃ , pi wo konsepsyon total 6 kouch ekran reflektiv, molybdenum abiye ekran 3 kouch, rès la nan kouch yo chwazi ekran asye reflektè asye. Teyorikman chofaj la nan miray la veso via tanperati radyasyon sou 200 ℃ , tanperati a ap tou dousman monte sou tan. Pifò ka yo, ponp tanperati ki ba yo ka gen ladan yon kwen 90 °, yo nan lòd pou fè pou evite ak chanm vakyòm nan, li se plis redwi a chaj la tèmik nan ponp lan, ki se diminye radyasyon tèmik se metòd ki pi senp ak efikas. Nan eta a koule molekilè, ka enfliyans nan koud konvèsyon gid dwe inyore, epi li se pi efikas pase rafal pou sistèm ultra-wo vakyòm. Yo nan lòd yo redwi enfliyans nan kondiksyon chalè ak radyasyon sou ponp lan kryogènik, yo te yon estrikti dlo-refwadi ki fèt sou tiyo a koudò. Estrikti nan sistèm vakyòm yo montre nan figi 1.

Yo nan lòd yo jwenn ideyal ultra-segondè vakyòm nan, nou fèt yon sistèm vakyòm paralèl nan inite ponp molekilè ak ponp kryogènik lè l sèvi avèk teknoloji redondans. Yo ka itilize inite ponp molekilè kòm pre-ponp sistèm lan, pou lè ponp kryogèn lan refwadi, li ka travay dirèkteman nan eta a koule molekilè .

Anplis de sa, lè kantite lajan an nan lè lage nan chanm nan vakyòm se relativman gwo, li kapab alè chanje nan ponp lan molekilè pou ekstraksyon lè, ki pa ka sèlman prolonje saturation la echantiyon tan nan ponp lan kriyojeni, men tou, sove tan an rejenerasyon . Molekilè ponp ak kyogwaz ponp yo ki konekte pa pneumatic ultra-segondè vakyòm baryè valv ak chanm vakyòm. Yo nan lòd yo asire ke sistèm lan se pwòp ak lwil oliv gratis, ak nan menm tan an bay jwe konplè nan avantaj yo ponpe nan ponp kryogènik, se pi bon kalite lwil oliv-gratis mayetik levitasyon molekilè ponp, se vortex ponp sèk chwazi pou etap la devan ponp, ak sèk ponp tou se itilize pou ekstraksyon lè nan rejenerasyon ponp koyogene. Se schematic diagram nan sistèm vakyòm yo montre nan figi. 2 konfigirasyon prensipal nan sistèm vakyòm.

Lè inite ponpye molekilè ak COMPRESSOR yo te kòmanse an menm tan an, apre yo fin apeprè 120 min, se tèt la frèt segondè nan kyopa a bese soti nan tanperati chanm nan anba a 15k (kawotik ponp pòt valv ka louvri). Nan tan sa a, degre nan vakyòm nan sistèm nan fwit vakyòm ka rive nan 10-5pa, se konsa ke ponp lan kyoyèn ka kòmanse soti nan vakyòm segondè dirèkteman.

Sa a seri ekipman se yon seri tip de gwosè mwayen ki menm gwosè ak gwo fou, aplike nan pwosesis la soude difizyon anba kondisyon an nan ultra-segondè vakyòm, kapasite nan chalè ak zòn sifas yo pi gran pase fou a tretman chofaj nan menm spesifikasyon, pi wo degre nan automatisation, konfigirasyon nan kryogèn ponp ka jwe avantaj enpòtan li yo. Tès presyon egzamen an nan gwo fou a se 2 * 10-7 Pa (frèt ak vid), ak pousantaj monte a presyon se 0.002 Pa / h. Endèks la pi bon pase abityèl vakyòm segondè a. Koulye a, aplikasyon pou ponp domestik klyozone yo sitou depann sou enpòtasyon, ak kalib la menm nan lòt ponp, pri a se pi chè. Sepandan, li toujou gen avantaj gwo nan jaden yo nan anviwònman an wo pwosesis pwòp, pi bon kalite vakyòm lwil oliv-gratis ak ultra-segondè vakyòm, ak ponp lan kryogenik se pa pi mal pase lòt ponp an tèm de pri sèvis ak lavi sèvis. Domestik rechèch kroogin rechèch ak devlopman se toujou yo dwe matirite, espesyalman COMPRESSOR teknoloji, kap pou pi devan pou monte nan domestik pwòp vakyòm ponp endistri.