Devlopman nan Magnetron Sputtering sibstans ki sou Titàn

Devlopman nan materyèl sputtering titanium sib materyèl

IKS PVD Customized la suitalbe PVD vakyòm kouch machin pou ou, kontakte avèk nou kounye a, iks.pvd@foxmail.com

Kòm yon enpòtan fonksyonèl fim materyèl nan jaden an nan enfòmasyon elektwonik, titanium-wo anpil te rapidman ogmante nan dènye ane yo ak devlopman rapid nan sikui entegre Lachin nan, montre panèl plat, ak endistri enèji solè. Magnetron sputtering teknoloji (PVD) teknoloji se youn nan teknoloji kle yo pou preparasyon an nan materyèl fim mens. High-purity titanium sputtering sib yo se consommables kle yo nan pwosesis la sputtering magnetron epi yo gen gran mache aplikasyon kandida. Kòm yon gwo valè-te ajoute materyèl kouch, sib Titàn gen kondisyon strik an tèm de pite chimik ak mikrostruktur. Li te gen gwo kontni teknik ak pwosesis difisil. Lachin nan antrepriz sib fabrikasyon te kòmanse relativman an reta nan jaden an nan-wo fen manifakti sib. Pite a nan materyèl bwit se relativman bak, epi gen twou vid ki sèten nan teknoloji a nwayo pwosesis tankou kontwòl tisi ak bòdi pwosesis. Pou en-wo fen aplikasyon yo, devlopman nan pèfòmans pèfòmans-wo titan titan se yon mezi enpòtan nan reyalize rechèch la endepandan ak devlopman nan materyèl kle nan endistri a manifakti elektwonik enfòmasyon ak ankouraje transfòmasyon la ak amelyore nan endistri a Titàn nan wo-fen.

Titan sib aplikasyon ak kondisyon pèfòmans

Magnetron Sputtering Ti sib yo pwensipalman itilize nan endistri yo elektwonik ak enfòmasyon, tankou penti dekoratif pou sikui entegre, montre panèl plat ak amelyorasyon lakay otomobil endistri yo, tankou penti vè dekoratif ak wou penti dekoratif. Diferan endistri yo gen diferan kondisyon pou ti sib, ki gen ladan: pite, mikrostruktur, pèfòmans soude, ak presizyon dimansyon. Kondisyon espesifik yo jan sa a:

1) Pite: Kouran ki pa entegre: 99,9%; Pou sikui entegre: 99.995%, 99.99%.

2) Mikrostruktur: Pou sikui ki pa entegre: gwosè an mwayèn se mwens pase 100 μm; pou sikui entegre: gwosè a grenn mwayèn se mwens pase 30 μm, ak gwosè ultrafin gwosè mwayèn a se mwens pase 10 μm.

3) Pèfòmans sifas: Pou sikui ki pa entegre: brol, monom; pou sikui entegre: monom, patiraj, difizyon twal.

4) presizyon dimansyon: ki pa Peye-entegre sikwi: 0.1mm; Entegre kous: 0.01mm.

1.1 Ti sib pou sikui entegre

Pite a nan entegre sikwi Ti sib se sitou pi gran pase 99.995%, e kounye a depann sitou sou enpòtasyon yo. Nan 2013, endistri IC Lachin nan reyalize lavant revni de 250.8 milya dola Yuan ak enpòtasyon montan 231.3 milya dola ameriken, fè li pi gwo komodite enpòte nan Lachin pou premye fwa. Nan 2014, lavant revni de endistri sikwi entegre te 267.2 milya dola Yuan, ak volim enpòte toujou rive 217.6 milya dola ameriken. Objektif pou sikui entegre kont pou yon gwo pati nan mache a sib mondyal la.

Ti sibil materyèl anvan tout koreksyon: Pwodiksyon ti-pite Ti sitou konsantre nan peyi Etazini, Japon ak lòt peyi, tankou Etazini Honeywell, Japon an Toho, Japon an Osaka Titàn endistri; domestik kòmanse pita, apre 2010 Beijing Nonferrous Metal Rechèch Enstiti, Zunyi Titanium, Ningbo Chuangrun te siksè te lanse domestik pwodui pwodwi ti-pour Ti, men estabilite nan pwodwi yo gen ankò yo dwe amelyore.

Estrikti devlopman nan ti sib: FOUNDRY nan chip bonè gen yon maj pwofi gwo, sitou lè l sèvi avèk yon 100-150mm machin sputtering, ak pouvwa a se ti, fim nan Sputtering se epè, gwosè a chip se gwo, ak pèfòmans nan sèl la sib se gwo. Li ka satisfè kondisyon yo nan itilize nan machin lan nan tan sa a. Nan tan sa a, ti a ti pou sikui entegre te sitou 100-150mm monomer ak sib konbine, tankou kalite tipik 3180 ak 3290 kalite. Nan dezyèm etap la, dapre Lwa Moore a, lajè liy lan chip se flèch. FOUNDRY chip la sitou itilize yon machin spouting 150-200mm. Yo nan lòd yo ogmante Marge a pwofi, se pouvwa a Sputtering nan machin nan ogmante, ki mande pou gwosè a sib ogmante. An menm tan an, li kenbe segondè konduktiviti tèmik, pri ki ba ak fòs sèten. Nan peryòd sa a, ti a ti sitou konpoze de alyaj alyaj retounen plak difizyon soude ak alyaj kwiv alyaj retounen plak ak soude, tankou tipik TN, TTN di ki kalite, Endura 5500 di ki kalite ak lòt objektif. . Nan etap nan twazyèm, ak devlopman nan sikui entegre, liy lajè chip se pi plis flèch. Nan tan sa a, fondri a chip sitou itilize yon machin sputtering 200-300mm. Yo nan lòd yo ogmante plis Marge a pwofi, pouvwa a Sputtering nan machin nan ogmante, ki mande pou sib la. Se gwosè a ogmante pandan y ap kenbe segondè konduktiviti tèmik ak fòs ase. Nan peryòd sa a, se ti sib la sitou te fè nan fèy plak alyaj plak kwiv, tankou sib tipik nan SIP.

Ti sib pwosesis ak manifakti: Mache yo byen bonè domestik ak entènasyonal te fondamantalman monopolize pa manifaktirè sib gwo tankou Etazini ak Japon. Apre 2000, endistri a manifakti domestik piti piti antre nan mache sib la, epi yo te kòmanse enpòte materyèl segondè-pite Ti anvan tout koreksyon nan pwosesis objektif ki ba-fen. Nan dènye ane yo, domestik Ti sibin fabrikasyon antrepriz yo te devlope rapidman, epi yo te pataje mache yo piti piti elaji nan Taiwan, Ewòp ak Etazini yo, elatriye Si gen de konpayi, Yanyijin ak Jiangfeng Elektwonik, konsantre sou manifakti sib pou anpil ane. Konpayi fabrikasyon sib domestik yo ap travay tou avèk manifaktirè machin sputtering domestik yo pou devlope objektif pou ankouraje devlopman domestik entegre endistri sputtering chanèl domestik entegre.

1.2 Ti sib pou ekspozisyon panèl plat

Ekspozisyon an panèl plat gen ladan yon ekspozisyon kristal likid (LCD), yon ekspozisyon Plasma (PDP), yon ekspozisyon electroluminescent (EL), ak yon ekspozisyon emisyon jaden (FED).

Koulye a, likid LCD ekspozisyon mache a se pi gwo a nan mache a ekspozisyon panèl plat, ak yon pati nan plis pase 90%. LCD yo konsidere kòm aparèy la ki pi pwomèt panèl plat, epi li te aparans li anpil elaji ranje aplikasyon an nan montre. Soti nan monitè kaye, monitè Desktop, definisyon-wo LCD televizyon ak kominikasyon mobil, divès kalite nouvo LCD pwodwi yo afekte. K ap viv abitid Pèp la epi ankouraje devlopman rapid nan endistri enfòmasyon nan mond lan. Teknoloji TFT-LCD se yon teknoloji ki konbine teknoloji mikwo-elektwonik ak teknoloji kristal likid. Li te vin teknoloji endikap nan ekspozisyon plat, epi li divize an AL-Mo, AL-Ti, Cu-Mo ak lòt pwosesis.

Se fim nan montre nan panèl plat sitou ki te fòme pa sputtering. Objektif tankou Al, Cu, Ti, ak Mo yo se objektif metal yo prensipal pou montre panèl plat, ak pouriti nan ti sib pou montre panèl plat se pi gran pase 99.9%. Sa a materyèl bwit ka fèt nan Lachin. Gwosè a nan planar ti sib la pou liy lan jenerasyon TFT-LCD6 se relativman gwo, ak estrikti a sèvi ak yon alyaj kwiv sibi dlo-refwadi sib plak, e li se yon panda CLP itilize.

Koulye a, liy ki pi wo nan mond lan jenerasyon Lachin nan pi wo jenerasyon an - Hefei 10.5 liy jenerasyon sitou pwodui gwo-gwosè ultra-wo definisyon likid kristal ekspozisyon, ak yon kapasite konsepsyon de 90,000 glas substrats pou chak mwa, gwosè gwosè gwosè nan 3370 × 2940mm, total envestisman nan 40 milya dola Yuan, 2018 Dezyèm sezon an nan ane a, itilize nan machin sputtering ak teknoloji ki koresponn ak objektif se toujou ensèten.

2 Magnetron sputtering Ti sib preparasyon teknoloji

Selon pwosesis pwodiksyon an, teknoloji préparation materyèl ti sib la kapab divize an de kategori: gwo bout bwa elèktron fonn (abbreviation EB blank) ak vakyòm bouche elektrik arc ak fonn vid (aborasyon (VAR) vid). Nan pwosesis preparasyon sib la, Anplis kontwòl strik nan pite materyèl, dansite, gwosè gwosè ak oryantasyon kristal, pwosesis tretman chalè kondisyon yo ak pwosesis ki vin apre bòdi yo dwe entèdi kontwole asire bon jan kalite a nan sib la.

Pou segondè-pouriti ti materyèl anvan tout koreksyon, eleman yo anpriz segondè-fizyon nan matris la Ti yo anjeneral yo retire pa elèktroliz fizyon, ak plis ankò pirifye pa elektwonik vapè fonn k ap fonn. Vacuum elektwonik gwo bout bwa k ap fonn se bonbard sifas la metal ak yon enèji gwo bout bwa elektwonik, ak Lè sa a, tanperati a piti piti leve jiskaske metal la fonn. Eleman an ak presyon vapè gwo pral preferansyèlman volatilize, ak eleman an ak presyon ti vapè rete nan fonn lan, ak eleman an impurity ak matris la Pi gwo diferans lan nan presyon vapè, pi bon efè a pou pirifye. Raffinage nan vakyòm apre k ap fonn gen avantaj nan retire eleman anpriz nan matris la Ti san yo pa entwodwi enpurte lòt. Se poutèt sa, lè 99,99% nan elektwolitik Ti se fonn pa elektwon gwo bout bwa nan yon anviwònman vakyòm segondè (10-4 oswa plis), eleman an impurity (Fe, Ko, Cu) ki gen presyon vapè satire nan materyèl la anvan tout koreksyon se pi wo pase vapè a satire presyon nan eleman nan ti tèt li pral preferansyèlman volatilize. Se kontni an nan enpurte nan matris la redwi pou reyalize bi pou yo pirifye. Yon konbinezon de metòd yo ka bay yon ti metal pouriti ki gen yon pite 99.995 oswa plis.

Pou pouriti a nan 99.9% ti materyèl anvan tout koreksyon, ti eponj nan 0-etap Ti te fonn nan yon vakyòm konsomasyon elektrik gwo founo dife, ak Lè sa a, cho blanchi yo te itilize yo fòme yon vid ti-gwosè. Ti materyèl metal ti prepare pa de metòd yo kontwole pa deformation thermomechanical pou kontwole mikrostruktur nan sifas vodou a tout antye, ak Lè sa a, trete nan yon sponmagron vibran Ti sib pou trete entegre sikui nan Diminye, obligatwa, netwayaj ak pwosesis anbalaj. Pou yon sib ti ki gen yon kondisyon patikilyèman wo pou yon machin 300 mm, sifas la sputtering nan sib la anvan pre-anbalaj tou pre-sputtered yo diminye tan an sib (Burning Tan) nan sib la monte sou machin nan Sputtering.

Sib la prepare pa kous la entegre Ti metòd preparasyon sib gen yon pwosesis konplike ak yon pri relativman wo.

3. Kondisyon teknik pou ti sib

Yo nan lòd yo asire bon jan kalite a nan fim nan depoze, yo ta dwe bon jan kalite a nan sib dwe entèdi kontwole. Apre yon gwo kantite pratik, faktè prensipal yo ki afekte kalite Ti sib la gen ladan pite, gwosè mwayèn gwosè, oryantasyon kristal ak inifòmite estriktirèl, jeyometri ak gwosè.

3.1 pite

Pite a ti sib la gen yon gwo enfliyans sou pwopriyete yo nan fim nan sputtered.

Pi wo a pouriti nan ti sib la, mwens patikil eleman patikil la nan ti fim nan ti sputtered, sa ki lakòz pi bon pwopriyete fim, ki gen ladan rezistans korozyon ak pwopriyete elektrik ak optik. Sepandan, nan aplikasyon pratik, itilizasyon diferan nan ti sib gen diferan kondisyon pite. Pou egzanp, ti sib pou penti jeneral dekoratif yo pa kritik an tèm de pite, ak Ti sib gen yon kondisyon pi wo pite nan jaden tankou sikui entegre ak kò ekspozisyon. Sib la sèvi kòm yon sous kathode nan sputtering, ak eleman impurity ak enklizyon pò nan materyèl la se sous prensipal yo nan kontaminasyon nan fim nan depoze. Enklizyon nan stomatal yo fondamantalman retire pandan tès la ki pa destriktif nan ingot la. Porpor yo ke yo pa retire pral lakòz fenomèn nan pwent rekiperasyon (Arcing) pandan pwosesis la Sputtering, ki pral afekte bon jan kalite a nan fim nan. Eleman kontni an eleman kapab fèt sèlman analize nan eleman konplè. Rezilta tès yo montre ke pi ba a kontni an kontni total, ki pi wo a pouriti nan ti sib la. Nan jou yo byen bonè, pa te gen okenn estanda pou wo-pite sibstans titan titan nan peyi Lachin, ki te baze sou kondisyon ki nan manifaktirè sib ti nan kay ak aletranje. Apre 2013, te estanda "YS / T893-2013-wo-pite sibstans nan titan titan pou fim elektwonik" te bay. Kondisyon yo pou kontni anpati diferan ak kontni anpwazonnman total de twa pite Ti sib yo espesifye. Estanda sa a se piti piti estandadize kondisyon yo pite nan mache a sib chaotic Ti.

3.2 gwosè gwosè gwosè

Anjeneral, ti sib la gen yon estrikti polikristalin, ak gwosè a grenn yo ka sou lòd la nan mikromèt milimèt. Pousantaj spitaj sibstans kristal amann ki menm gwosè a pi vit pase sa ki nan sib la koryas-grenn, ak sib la gen yon ti diferans nan gwosè grenn sou sifas la sputtering se pwojeksyon. Distribisyon epesè nan fim depoze a se tou relativman inifòm. Li te jwenn ke si gwosè a grenn nan sib la titanium kontwole yo dwe mwens pase 100 μm ak chanjman ki fèt nan gwosè grenn yo kenbe nan lespas 20%, ka bon jan kalite nan fim nan ki te jwenn pa sputtering ka anpil amelyore. Gwosè mwayen grenn ti sib la pou sikui entegre jeneralman oblije nan lespas 30 μm, ak gwosè grenn mwayèn nan ultrafin grenn Ti sib la se 10 μm oswa mwens.

3.3 Oryantasyon Crystal

Ti metal yo se yon estokaj ekzagonal ki fèmen-chaje, e depi atom sib sib yo pi pito sputtered nan yon direksyon ki nan atòm yo ki pi byen ranje nan spuder la, yo ka metòd la nan chanje estrikti nan kristal nan sib la kapab reyalize nan lòd Pou yo rive nan pousantaj ki pi wo vitès. Ogmante to a sputtering. Koulye a, pi fò nan sifas ki entegre sifas Ti sifas sputtering sifas {1013} fanmi fim kristal se plis pase 60%, oryantasyon an grenn nan sib la ki te pwodwi pa manifaktirè diferan se yon ti kras diferan, ak oryantasyon an kristal nan sib la Ti se inifòm nan epesè nan kouch nan fim sputtered. Enpak la se pi gwo tou. Gwosè nan fim nan ekspozisyon an plat ak kouch nan dekoratif se relativman epè, se konsa kondisyon yo oryantasyon grenn nan korespondan ti sib yo relativman ba.

3.4 inifòmite estriktirèl

Inifòmite estriktirèl tou se youn nan endikatè enpòtan yo pou ekzamine bon jan kalite a nan objektif. Pou sib la Ti, se pa sèlman avyon an sputtering nan sib la, men tou se eleman nan direksyon nòmal, oryantasyon grenn jaden ak inifòm mwayèn gwosè grenn nan sifas la sputtering yo mande yo. Se sèlman nan fason sa a, sib la Ti ka jwenn yon ti fim ki gen epesè inifòm ak bon jan kalite serye ak gwosè inifòm grenn nan menm peryòd tan.

3.5 Jewometri ak dimansyon

Sitou reflete nan presizyon pwosesis ak bon jan kalite pwosesis, tankou gwosè pwosesis, sifas planèt, brutality ak sou sa. Si devyasyon nan ang twou aliye twò gwo, li pa ka enstale kòrèkteman; epesè a ti pral afekte lavi sèvis la nan sib la; sifas poze sele a ak gwosè ekran an sele pral twò ki graj, ki pral lakòz pwoblèm nan vakyòm la apre yo fin sib la enstale, sa ki lakòz gwo koule dlo; Tretman an ki graj nan sifas la ka fè sifas la nan sib la plen nan konvèks konsèy. Anba aksyon an nan efè a pwent, potansyèl la nan konsèy sa yo leve soti vivan yo pral ogmante anpil, kidonk kraze egzeyat la dielectric, men extrusion a twòp se pou sputtering. Bon jan kalite a ak estabilite yo favorab.

3.6 soude jwenti

Koulye a, gen anpil papye sou rechèch nan ti / Al dissimilar soude difizyon metal. Anjeneral, soude a difizyon nan Titàn segondè fizyon pwen ak materyèl aliminyòm ki ba k ap fonn se sitou ki baze sou teknoloji lyezon difizyon vakyòm nan yon sèl-fason oswa de-fason presyon oswa isostatics tèmik. Teknoloji a presyon reyalize segondè-presyon mwayen-ba tanperati a dirèk koneksyon difizyon nan materyèl metal ak metal aliminyòm. Gen anpil manifaktirè domestik nan soude Ti / Cu ak Cu alyaj, men gen kèk papye rechèch.

4, Ti sib kandida

Global sib fabrikasyon baz yo rapidman rasanble nan pwovens Lazi. Avèk devlopman rapid nan gwo teknoloji endistri tankou semi-conducteurs semiconductor domèn entegre, montre panèl plat ak penti dekoratif, mache sib Lachin nan ap agrandi, e li te piti piti vin youn nan pi gwo zòn nan mond lan demann pou sib fim mens. Devlopman ofri opòtinite ak defi.

Nan dènye ane yo, anba lidèchip nan endistri a sikwi entegre endistri, syans nasyonal ak teknoloji pi gwo pwojè (01, 02, 03) ak fon lokal yo, ka envestisman an nan endistri a sikwi entegre dwe dekri tankou cho. Selon demografik, sèlman nan de ane ki soti nan 2015 rive 2016, domestik Li te anonse ke gen anpil 44 liy pwodiksyon Wafer anba konstriksyon oswa planifye yo kòmanse, ki gen ladan 300mm, 18mm, 200mm20, ak 150mm. Kondwi pa demann mache sa a, endistri sib la pral siman atire atansyon ak atansyon nan enstiti rechèch ki enpòtan ak antrepwiz nan peyi Lachin, epi envesti nan resous materyèl, resous materyèl ak resous finansye yo devlope ak pwodui objektif Splash mayetik kontwole.

Kòm yon branch inik nan jaden an sib, Ti sib yo te itilize nan tou de semi-conducteur Al ak Cu pwosesis, epi yo lajman yo itilize nan endistri a kristal ekspozisyon likid ak endistri dekoratif kouch. Koulye a, baz yo pou R & D ak pwodiksyon ti sib yo konsantre sitou nan Beijing, Guangdong, Jiangsu, Zhejiang ak Gansu. Akòz limit ki nan sib sibite anvan tout koreksyon materyèl, ekipman pwodiksyon ak pwosesis rechèch ak teknoloji devlopman, endistri Ti endistri Lachin nan se toujou nan anfans li. Domestik Ti sib pwodiksyon antrepriz yo fondamantalman ba nan bon jan kalite ak teknoloji, lè l sèvi avèk tradisyonèl metòd pwosesis ak repoze sou pri pou pou genyen. Pwodiktè vibre ki ba-klasman, oswa plant limite-pri ki fèt nan plant yo. Echèl pwodiksyon an piti, varyete a se sèl, ak teknoloji a toujou enstab. Se konsa, lwen, Lachin (ki gen ladan Taiwan, Lachin) gen sèlman yon kèk konpayi pwofesyonèl ki pwodui objektif, tankou Yanyijin, Jiangfeng Elektwonik, elatriye, ki pwodwi ti sib lwen. Byen lwen nan satisfè bezwen yo nan devlopman mache, yon gwo kantite ti sib toujou bezwen enpòte soti nan aletranje. Materyèl yo anvan tout koreksyon materyèl metal segondè ti-sib te deja reyalize avans, men pifò nan yo dwe konte sou enpòtasyon yo.

Kòm yon materyèl espesyal-bi, Ti sib gen yon objektif aplikasyon fò ak yon background aplikasyon klè. Teknik metòd pou pirifye pou detachman soti nan metal Ti, EB bale teknoloji k ap fonn, teknoloji tès ki pa destriksyon pou ti lengote, teknoloji analiz impurity pou Ti-pouriti ti, teknoloji pweparasyon pou ti sib, teknoloji pweparasyon pou machin sputtering, pwosesis spouting ak tès pèfòmans fim teknoloji Etid la nan ti sib la tèt li pa fè okenn sans. Devlopman ak pwodiksyon ti sib ak amelyorasyon aplikasyon ki vin apre yo enplike yon chenn endistri antye nan materyèl en premyèman endistriyèl ekipman ekipman endistriyèl ak manifaktirè sib yo devlope ak enfliyanse ti sib kouch bato. Relasyon ki genyen ant pèfòmans ti sib la ak pwopriyete fim ki vibran se benefisye pou jwenn pwopriyete fim ki satisfè kondisyon aplikasyon an, epi tou li benefisye pou pi byen itilize sib la, konplètman egzèse efè li, ak pwomouvwa devlopman nan endistri sib la.

Koulye a, endistri a sikwi entegre se en nan Lachin. Opòtinite ak defi coexist. Si nou pa ka sezi opòtinite lokalize sib manifakti, manifakti fim ak ekipman tès, diferans ki genyen ant Lachin ak nivo entènasyonal la pral siman vin pi gwo. Li se pa sèlman kapab repwann mache domestik la okipe pa envestisè etranje yo, men tou, nan konpetisyon nan mache entènasyonal la.