Sistèm aporasyon microscope travès

Microscope travès ak thermique aporasyon sistèm. Planétaire senp wotasyon estaj kapab genyen chofaj pou tanperati pi konsekan pase 950° C, selon mezi substrate ak materyèl. Sous ion yo pou IBAD ak substrate ki te fèt avan netwaye kapab intégré nan sistèm yo tou. Aporasyon sistèm yo vini ak nèt sou tout pwen pompage èstasyon yo, konnen tiyo manyèl oubyen electro-chanm konpwesyon lè, indicateurs bale tout, yon bwat separasyon pouvwa, manto elektwonik, dlo ak de lè manifolds, ak sekirite on. Sistèm yo ka opere lamen oubyen via konpitè kontwòl. Substrate à ak devront ka fè fèt pou fòm substrate te ap mennen kèk estanda sa yo ak tout gwosè. Aplikasyon pou genyen ladan yo materyèl de baz rechèch ki fèt, li WÈ ki bay sipò, Silisyòm ak GaAs wafer metallization, MICROSYSTÈME, ni ekspozisyon teknoloji: li pi plis.

Anpil sistèm opsyon ki disponib, ki gen gwo pilye microscope travès ak tèmik sous, pouvwa ak ekipman, entegrasyon ion travès yo oubyen magnetron le sous, RGA a, UHV kapasite, plizyè wafer chajman plante ak nan-situ monitè.