Fim Kwasans
Jan 06, 2018| Tout pwosesis depo fim mens konsiste de twa etap:
1. pwodiksyon nan espès fòme espès yo
2. transpò nan espès sa yo soti nan sous la substra a
3. Kondansasyon ak asanblaj sou substra a
Nan PVD premye etap la se swa evaporasyon oswa sputtering, dezyèm etap la implique liy-of-sight transpò si presyon an pwosesis ki ba anpil epi gen yon pwobabilite ti pou kolizyon oswa yon transpò koule si presyon an se segondè. Kalite transpò enfliyanse kwasans vrè fim nan nan twazyèm etap la.
Lè yon atòm rive nan sifas la substrate epi li te absòbe, li pral difize sou sifas la jiskaske li se swa desorbed oswa kole nan yon sit enèjik favorab. Sifas difizyon sa a depann de sa ki enèji atòm an gen sou rive nan sifas la epi si substrate la se apwovizyone pa yon enèji adisyonèl, tankou pa chofaj oswa bonbadman ion. Enèji nan atòm lan depann de presyon nan chanm depo a, yon gwo presyon diminye enèji akòz pèt enèji nan kolizyon. Bonbadman an ion nan sifas la se posib nan metòd ki baze sou plasma epi yo ka kontwole pa yon vòltaj negatif negatif nan substra a ki gen rapò ak plasma la.
Si atòm la baton nan yon lòt atòm fim nan sifas la, yon pè ki ba-mobilite kreye epi sa ogmante pwobabilite pou yon lòt atòm pou bat yo. Nan yon nimewo kritik nan atòm, oswa yon kritik nwayo-gwosè, se yon nwayo ki te fòme. Nwayo sa yo ap grandi nan zile cristalline ki pral koalesce lè reyinyon youn ak lòt epi finalman fòme yon fim kontinyèl. Tou depan de paramèt yo pwosesis kwasans lan fim ap kontinye nan diferan fason ki bay mikrostrikti diferan. Fim lan ka grandi kouch-pa-kouch oswa nan 3D-zile oswa nan yon konbinezon de sa yo mòd kwasans.
Nan PVD kwasans lan fim se souvan kolòn, sa vle di kristalit yo grandi nan kolòn ki gen plis oswa mwens devlope limit grenn ant yo. Limit yo grenn jaden yo ka genyen ladan yo ki vid ak deteryore pi pwopriyete nan fim nan, men yon reyèl dans, fim kolon ka gen pou egzanp ekselan pwopriyete tribolojik. Yon microstruktur dans konplè nan fim nan se souvan trè dezirab. Kòm mikrostruktur nan dans ankouraje pa bonbadman ion nan fim nan ap grandi, fim sa yo ka souvan depoze pa PVD-metòd nan plasmas segondè dansite.
Plizyè modèl kwasans fim pou enfliyans nan kondisyon an depozisyon sou mikrostruktur nan fim nan yo te devlope. Souvan itilize yo se modèl estrikti estriktirèl an kote modil kwasans diferan (zòn) yo idantifye nan yon dyagram pou diferan tanperati nan tanperati k ap fonn (T / T m). Yon revizyon vaste nan modèl sa yo te pibliye pa John A. Thornton nan 1977 ak isit la swiv yon rezime kout sa a. Movchan ak Demchishin te fè klasifikasyon sa yo: Zòn 1 parèt lè T / T m <0.3 ak="" karakterize="" pa="" brutality="" segondè="" sifas="" ak="" limit=""> Zòn 2 parèt lè 0.3
