Metòd pou sputtering Depozisyon nan Films alyaj

Metòd pou sputtering depozisyon nan fim alyaj

Yo nan lòd yo redwi kantite objektif yo itilize nan sistèm nan sputtering, fim sa yo alyaj mens ki satisfè kondisyon ki nan konpozisyon ak pèfòmans ka prepare pa sputtering depozisyon ak yon sèl sib osi lwen ke posib, tankou sib alyaj, konpoze sib mozayik ak milti. -targt sputtering.

Anjeneral pale, nan eta a ki estab nan egzeyat, selon konpozisyon an nan sib la, tout kalite atòm fòme yo sibi efè sputtering, kouch sputtering se siperyè a evaporasyon vakyòm ak ion plating nan sa: konpozisyon an nan fim nan ak. konpozan sib yo mwens diferan, ak konpozan yo kouch yo ki estab.Menm si, nan kèk ka, akòz chwa a nan fenomèn sputtering nan eleman diferan, pousantaj anti-sputtering fim nan ak diferan yo, ki pral lakòz fim yo ak eleman sib gen. diferans gwo.Sèvi ak sib alyaj sa a, nan lòd fè fim nan ak sèten eleman, nan adisyon a prepare sib la ak pwopòsyon espesifik dapre eksperyans lan ak diminye tanperati a nan sib la osi lwen ke posib, tanperati a substra kapab tou redwi. diminye diferans lan nan pousantaj adhésion, ak kondisyon pwosesis ki apwopriye yo ka chwazi diminye efè a anti-spètri sou fim nan la. pi lwen ke posib.

Nan kèk ka, li pa fasil pou prepare gwo zòn nan objektif alyaj inifòm ak objektif konpoze. Nan ka sa a, objektif konpoze Mosaic ki konpoze de eleman sèl kapab adopte. Konpozisyon sifas sib la montre nan figi 1. Estrikti mozayik fanatik ki gen fòm yo montre nan fig. D gen efè a pi byen, epi li se fasil kontwole konpozisyon an nan fim nan e li gen bon repitabilite.Nan prensip, pa sèlman alyaj binè, men tou alyaj ternary ak kwatèrnèr ka prepare pa metòd sa a.

Figi 1 sib konpoze ak diferan estrikti

(a) bloke sibò mozayik; (b) wonn sib mozayik; (c) ti sibvè kare ki gen mozayik; (d) sib ki gen fòm fanatik

Pou fè distribisyon eleman ki koresponn lan nan fim nan sputtering, sib la mozayik jan yo montre nan figi 2 ka itilize. Nan figi a, yon sib konpoze nan materyèl Al te komanse fouye nan zòn nan grave nan yon sib matris Ti yo prepare Ti Al N fim alyaj oswa fim konpoze. Li ka wè nan figi a ki konpozisyon an fim ki diferan nan pozisyon diferan nan substra la. Pozisyon enkrustasyon ak kantite materyèl Al koresponn ak konpozisyon alyaj yo detèmine, kidonk li trè pratik pou fè fim alyaj oswa konpoze nan divès konpozan pa metòd sa a.

Figi 2 Ti-Al Mosaic sib konpoze

Se estrikti a nan milti-sib sprutation montre nan figi 3. Fim konpoze kapab prepare pa wotasyon substra a pi wo a de oswa plis sib ak kontwole epesè a depozisyon nan chak fim yo dwe youn oswa plis kouch atomik. Pou egzanp, InSb ak objektif GaSb yo te itilize yo pwodwi in1-xgax Sb fim sèl kristal. Malgre ke aparèy sa a se pi konplike, manbràn lan nan nenpòt ki eleman ka jwenn pa kontwole vitès la wotasyon substra a ak chanje vòltaj la aplike sou chak sib. Pa kontwole paramèt sa yo, ka konpozisyon an nan fim nan ap chanje nan yon direksyon ki nan epesè nan fim, ak estrikti nan superlattice ka jwenn.

Fig. 3 schematic diagram nan milti-sib estrikti sputtering

Lè konpozisyon an nan fim nan alyaj varye anpil, se metòd la katod oksilyè anjeneral itilize. Se sib la katod prensipal te fè nan eleman prensipal la nan alyaj la, epi li se sib la katodik oksilyè te fè nan eleman nan te ajoute nan alyaj la. Sputtering te fèt sou chak sib ansanm pou fòme fim alyaj. Pa ajiste aktyèl la nan sib la katod oksilyè, kantite lajan an nan te ajoute konpozan nan fim nan alyaj ka chanje nan volonte .

IKS PVD, sputtering depo kouch sistèm, kontakte avèk nou kounye a, iks.pvd @ foxmail.com