Sputtering Metòd Depo Pou Fim Alloy

Yo nan lòd yo redwi kantite sib yo itilize nan sistèm nan Sputtering, se yon sèl sib sipoze vole ak depo fim alyaj ki satisfè konpozisyon an ak kondisyon pèfòmans. Se konsa, alyaj objektif, objektif enkriz konpoze, ak milti-sib spuder ka itilize nan ka sa a.

Anjeneral pale, nan eta a konstan nan egzeyat, dapre konpozisyon an nan sib la, divès kalite atòm konstitiyan yo respektivman sibi sputtering. Yon avantaj de kouch sputtering konpare ak evaporasyon vakyòm ak ion plating se ke diferans ki genyen ant konpozisyon nan kouch nan fim ak sib la se ti ak konpozisyon an kouch se pi plis ki estab. Sepandan, nan kèk ka, akòz selil sputtering fenomèn nan eleman konpozisyon diferan, pousantaj diferan pous switman ak fòs Adhesion nan fim, konpozisyon an nan kouch nan fim ak sib la ka anpil diferan. Lè w ap itilize sa a nan sib alyaj, yo nan lòd yo jwenn fim nan nan eleman sèten, tanperati a nan substra a yo ta dwe redwi otank posib redwi diferans lan nan to adezyon nan adisyon a fòmil sib la espesifik dapre eksperyans la ak minimize tanperati a nan sib la. Epitou, kondisyon yo ki apwopriye pwosesis ap diminye efè a sputtering sou fim nan.

Nan kèk ka, li difisil pou prepare yon inegal sibstans inifòm gwo oswa yon sib konpoze. Se konsa, ka konpoze mozayik sib ki konpoze de eleman sèl ka itilize. Se konpozisyon sifas sib la yo montre nan Fig.1. Nan mitan yo, estrikti nan mozayik fanatik ki gen fòm (d) se pi efikas la, li se fasil kontwole konpozisyon sa a nan fim nan, ak repetibilite a se tou bon. Nan prensip, pa sèlman alyaj binè, men tou, ternary, fim alyaj quatnèrèr ka fèt pa metòd sa a.

Fig.1. Objektif konpoze nan diferan estrikti

(a) Kare mozayik sib (b) Objektif mozayik wonn (c) Ti wonn mozayik wonn (d) Sib ki gen fòm mozayik fanatik

Se estrikti a nan milti-sib spouting yo montre nan Figi 2. Se substra a vire toutotou a de oswa plis objektif, ak epesè nan depo nan chak fim kontwole yo dwe youn oswa plizyè kouch atomik, ak fim nan pran vire yo dwe depoze, Se konsa, ka yon fim konpoze ka jwenn. Pa egzanp, fim kristal In1-xGax Sb te prepare pa objektif InSb ak GaSb. Malgre ke se aparèy sa a konplike, men nenpòt fim eleman ka jwenn nan kontwole vitès la wotasyon substra a ak chanje vòltaj la aplike nan chak sib. Sa yo paramèt ka kontwole dapre tan an kouch, se konpozisyon sa a nan fim nan chanje nan direksyon epesè fim ak estrikti a superlattice ka jwenn.

Fig.2. Schematic dyagram nan milti-sib estrikti sputtering

Metòd kadyo oksilyè jeneralman itilize lè diferans ant eleman fim nan se gwo. Se sibstans lan kapòt prensipal la te fè nan eleman prensipal la nan alyaj la, epi li se sibstans lan katod oksilyè te fè nan eleman an aditif nan alyaj la. Se chak sib sputa ansanm pou fòme fim nan alyaj. Pa ajiste aktyèl la nan sib la kowodil oksilyè, kantite lajan an nan konpozan te ajoute nan fim nan alyaj ka abitrèman chanje.