Kòz la nan inite nan Magnetron Sputtered kouch

Pa gen pwoblèm ki kalite machin vakyòm pri, inifòmite nan penti yo pral afekte pa yon faktè sèten.

Operasyon an nan machin vakyòm vakyòm kouch machin lan se fè elektwon yo bonbard iyon yo Argon ki te fòme pa gaz la Argon ak Lè sa a, bonbard sib la pa jaden orthogonal mayetik anba eta a vakyòm, ak iyon sib yo depoze sou sifas la nan materyo yo fòme kouch. Se konsa, nou ka konsidere ke eta a vakyòm, jaden mayetik ak agwon yo se twa aspè ki gen rapò ak inifòmite nan epesè nan fim.

Se eta a vakyòm kontwole pa lè sistèm ponpe. Chak pò ponpe dwe aktive nan menm tan an anba fòs ki konsistan pou ke inifòmite a nan ponpe ka asire. Si ponpe a pa inifòm, presyon an nan chanm vakyòm lan pa kapab inifòm, tankou presyon an gen kèk enfliyans sou mouvman an nan iyon. Anplis de sa, tan an ponpe dwe kontwole. Twò kout pral lakòz ensifizan vakyòm, men li pral yon fatra nan resous si li se twò lontan. Men, egzistans lan nan mezi vakyè fè li nesesè.

Jaden an mayetik travay orthogonally, men li enposib fè entansite nan jaden mayetik se 100% inifòm. An jeneral, kote jaden an mayetik se fò, epesè nan fim yo pral gwo, ak vis vèrsa, se konsa epesè nan fim yo pral konsistan.

Inifòmite rezèv gaz argon la afekte inifòmite kouch fim. Prensip la se menm jan ak degre nan vakyòm. Akòz antre nan gaz argon, presyon an nan chanm nan vakyòm pral chanje kòmsadwa. Inifòmite nan epesè nan fim ka kontwole pa presyon nan inifòm.

Malgre ke gen toujou plizyè faktè ki lakòz inegalite nan fim nan, men pousantaj la pase nan fim nan se trè wo si se operasyon ki kòrèk la nan machin nan kouch vakyòm fè.