Sistèm nan kondwi ak sistèm refwadisman nan ekipman PVD rvetman

Kondwi Sistèm

Sistèm kondwi a pèmèt substra a koule soti nan mete substra nan aparèy la pou depo sputtering, soti nan aparèy la apre yo fin fini nan pwosesis. Se sistèm nan kondwi ki konpoze de kondwi motè, wou wou, konvètisè frekans ak sou sa. Rezon ki fè yo pou ajoute sistèm kondwi a se:

(1) Asire penti epesè inifòm yo lajman distribiye.

(2) Fasil pou reyalize transmisyon otomatik.

Sistèm refwadisman

Sistèm nan refwadi se sitou ki konpoze de sib la sikile molekilè dlo ponp, chanm, gwoup ponp ak kondwi motè a refwadi sikile dlo. Fonksyon prensipal li se fre chanm vakyòm, ponp, kondwi, ekipman pou pouvwa, elatriye Kondisyon ki nan dlo refwadisman yo se:

(1) Tanperati: 17 ~ 22 ° C;

(2) Presyon: 2 ~ 3e0.05Pa;

(3) Yo ta dwe retire patikil mayetik yo nan dlo, epi dlo a ta dwe adousi, pH = 6 ~ 8.