Kalite tipik sistèm vakyòm
Jun 30, 2018| Sistèm ki itilize pou ranpli sèten kondisyon pwosesis, ki kapab jwenn ak mezire espesifik vakyòm ki nesesè yo rele sistèm vakyòm. Yon sistèm vakyòm konplè konsiste de chanm vakyòm, ponp vakyòm mande oswa inite vakyòm, aparèy mezi vakyòm, koneksyon conduit, valv vakyòm, pèlen ak lòt eleman vakyòm ak sistèm kontwòl elektrik. Se tipik sistèm vakyòm yo montre nan Fig.1 ak Fig.2.
1. Vacuum chanm senyen valv 2. Kalite vakyòm ionizasyon 3. Kalite vakyòm Thermocoup 4. Flow regilye valv
5. Valv vakyòm segondè 6. ponp diffusion 7. tank depo gaz
8. Kalite Tèmik (mezi difizyon ponp pre-etap presyon) 9. Tiyo jape 10. Capteur presyon
11. Pre-ponp tiyo 12. Roots vakyòm ponp 13. Tiyo pa-pase 14. valv elektwomayetik senyen
15. Mekanik ponp vakyòm
Fig.1 Schematic dyagram nan yon sistèm vakyòm tipik
1. Vacuum chanm 2. Kalib vakyòm ionizasyon 3. Kalite vakyòm Thermocoup 4. Tiyo deflasyon
5. Tiyo vakyòm segondè 6. Pèlen frèt 7. Pip difizyon 8. Tiyo jape 9. Valv elektwomayetik senyen
10. Mekanik vakyòm ponp 11 Pre-ponp valv
Fig.2 Schematic dyagram nan yon sistèm vakyòm tipik