Ki sa ki se anpwazònman an sib nan Sputtering Magnetron? Ki sa ki Faktè enfliyans jeneral yo ak solisyon?
Jun 11, 2018| 1. Anpwazònman sib
◆ Akimilasyon nan iyon pozitif
Lè sib la anpwazonnen, se yon fim posibilite ki fòme sou sifas sib la. Lè iyon pozitif yo rive nan sifas objektif kathode a, yo pa ka dirèkteman antre nan li akòz baryè a nan kouch la posibilite, men akimile sou sifas sib la. Se konsa, jaden an frèt se fasil pwodwi kòm byen ke ekleraj la arc - ebèj ekleraj. Se konsa, ki spataj kathod pa ka kontinye.
◆ Anod disparèt
Lè sib la anpwazonnen, se yon fim posibilite tou depoze sou miray la nan chanm vakyòm la. Elektwon ki rive nan anodo a pa ka antre nan anodè a epi disparèt.
2. Enfliyanse faktè nan anpwazònman sib
Faktè sa yo ki afekte anpwazònman an sib yo se sitou rapò a nan gaz reyaktif ak gaz Sputtering. Gaz reyaksyon ki twòp ap lakòz anpwazònman sib. Nan pwosesis la nan pwosesis la sputtering reyaktif, se rejyon an chanèl sputtering sou sifas sib la ki kouvri pa pwodwi a reyaksyon, oswa pwodwi a reyaksyon kale nan re-ekspoze sifas metal la, ki komès koupe ak pran tou.
Si pousantaj fòmasyon nan konpoze a pi gran pase pousantaj la ki konpoze an dezabiye, zòn nan kouvri pa ogmantasyon nan konpoze. Nan yon sèten pouvwa, kantite gaz aktif ki enplike nan fòmasyon konpoze ogmante, ak pousantaj fòmasyon konpoze ogmante. Si kantite lajan an nan gaz reyaktif ogmante twò, zòn nan kouvri pa konpoze a ogmante.
Si koule nan gaz la reyaktan pa ka ajiste nan tan, vitès la nan ogmantasyon nan zòn nan kouvèti asirans koneksyon pa ka siprime, epi yo pral chanèl nan sputtering pli lwen kouvri pa konpoze an, lè sib la sputtering konplètman kouvri pa konpoze an, sib se konplètman anpwazonnen.
3. Solisyon nan anpwazònman sib
◆ Adopte pouvwa frekans mwayen oswa RF pouvwa.
◆ Adopte yon riban fèmen pou kontwole kantite gaz réaktif.
◆ Itilize objektif jimo
◆ Kontwole transfòmasyon nan mòd kouch: Anvan kouch, kolekte koub la efè isterèz nan anpwazònman sib, fè koule a inlet kontwole nan devan anpwazònman sib, epi asire ke pwosesis la se toujou nan mòd la ki anvan to depo to gout sevè.
