Konnen jeneral nan ponp Vacuum
Mar 13, 2019| Konesans jeneral sou ponp vakyòm
1. Metòd pou jwenn vakyòm
Ekipman an ki ka egzeyat gaz soti nan veso a fèmen oswa diminye kantite molekil gaz nan veso a yo rele ekipman akizisyon vakyòm oswa ponp vakyòm. Koulye a, yo te itilize divès metòd nan teknoloji vakyòm pou jwenn ak mezire presyon sòti nan 105Pa a 10-13pa, jiska 18 lòd grandè. Li evidan, li trè difisil pou jwenn eta gaz la nan yon espas lajè presyon ak yon sèl kalite ponp vakyòm.
Nan teknoloji a nan akizisyon vakyòm, gen de fason jwenn vakyòm nan kounye a. Youn nan se egzeyat gaz la dirèkteman nan veso a fèmen nan mouvman an nan yon mekanis sèten. Lòt la se adsorb oswa kondanse molekil gaz yo sou sifas la ba-tanperati pa metòd fizik ak chimik. Gen anpil kalite ponp vakyòm manifaktire pa de metòd sa yo, ak metòd yo klasifikasyon yo diferan. Sepandan, metòd ki pi souvan itilize a se klasifye ponp yo vakyòm dapre prensip k ap travay yo oswa karakteristik estriktirèl. Sa a pral kouvri nan pwochen seksyon an.
2. Klasifikasyon nan ponp vakyòm
Dapre prensip k ap travay nan ponp vakyòm, ponp vakyòm ka fondamantalman divize an de kalite, ki se, ponp transfè gaz ak ponp kaptire gaz. Kòm teknoloji aplikasyon vakyòm nan jaden an nan pwodiksyon ak rechèch syantifik a kondisyon yo ki nan sijè ki abòde lan aplikasyon nan presyon an se pi plis ak plis lajè, sitou bezwen konsiste de plizyè komen apre ekstraksyon nan sistèm vakyòm ponp vakyòm ka satisfè kondisyon yo ki nan pwodiksyon ak syantifik pwosesis rechèch, se konsa chwazi diferan kalite ponp vakyòm nan kondisyon yo pou aspirasyon ponp vakyòm plis ankò. Pou rezon konvenyans, li nesesè pou klasifye ponp sa yo an detay dapre prensip travay yo oswa karakteristik estriktirèl yo. Li dekri jan sa a:
(1) ponp transfè gaz
Ponp transfè gaz se yon kalite ponp vakyòm ki ka fè gaz la kontinyèlman respire ak egzeyate, konsa tankou reyalize bi pou yo ponpe. Gen de kalite fondamantal ponp sa a:
1) varyab ponp vakyòm volim
Ponp Vakyòm Varyab la se yon kalite ponp vakyòm ki itilize chanjman peryodik volim chanm ponp lan pou konplete pwosesis aspirasyon ak tiyo echapman yo. Se gaz la konprese anvan yo te ekspilse. Sa a se ponp divize an à ak Rotary de kalite:
(1) altènatif ponp vakyòm: se itilize nan ponp kavite piston mouvman a altènatif, rale gaz la, konpresyon ak deyò. Se poutèt sa, konnen tou kòm ponp vakyòm Piston.
Ponp lan vakyòm Rotary: se itilize nan ponp lan chanm ponp fè mouvman wotasyon, rale gaz la, konpresyon ak deyò. Ponp vakyòm Rotary gen kalite sa yo:
lwil oliv sele ponp vakyòm: li se itilize nan sele lwil oliv ant pati pyès sa yo k ap deplase nan espas sa a, redwi espas ki la danjere nan yon Rotary kapasite varyab ponp vakyòm. Ponp sa a anjeneral ekipe ak lè aparèy ballast, li se tou li te ye tankou ponp lè vakyòm lè. Dapre karakteristik estriktirèl li yo divize an senk kalite sa yo.
Yon) Rotary vane ponp vakyòm: rotor ak eksantrisite sèten enstale nan koki a ponp ak kokiy la ponp sou sifas la nan sifas la fiks tou pre plas la rotor ekipe ak de (oswa plis) Rotary Vane, ka lè rotor a wotasyon-Vane. nan plas radial li yo altènatif glisman ak kontak ak mi an veso ponp toujou, Vane a Rotary ak wotasyon rotor, ka kavite a ponp ap divize an plizyè deplasman varyab.
B) valv glise ponp vakyòm: se yon valv glise enstale deyò rotor nan inik. Rotor la wotasyon kondwi valv la glise glise ak woule sou miray enteryè a nan koki a ponp. Tij nan valv glise sou pati a anwo nan valv la glise ka glise nan gid la valv glise balance, epi li se chanm nan ponp divize an de komèsan varyab.
C) ponp vakyòm stator: yon rotor inik ki tou pre sifas enteryè ponp lan enstale nan kokiy ponp lan, epi se yon Vane radyal glisman ki toujou an kontak ak sifas rotor la enstale sou kokiy ponp lan. Lè rotor nan wotasyon, Vane nan glisman ka deplase monte e desann divize chanm ponp lan nan de komèsan varyab.
D) ponp twokoidal vakyòm: inikman ekipe ak yon rotor trokoidal nan chanm lan ponp, li wotasyon sou miray la enteryè nan chanm lan ponp ak divize chanm lan ponp nan de komèsan varyab.
E) milti-chanm Rotary ponp vakyòm Vane: miltip etidyo endepandan rotary Vane ponp vakyòm kondwi pa motè a menm yo ranje nan paralèl nan yon kokiy ponp.
(2) ponp vakyòm sèk: li se yon ki pa lwil (oswa likid) sele volim ponp vakyòm.
(3) likid bag ponp vakyòm: ak anpil lam nan inik nan rotor enstale nan koki a ponp, lè li wotasyon, likid la (anjeneral dlo oswa lwil) nan ponp koki bag la konsantrik likid, bag likid ak rotor lam te fòme yon ti piti. volim volim chanjman peryòd, li se tou yo rele Rotary kapasite vakyòm ponp.
(4) rasin ponp vakyòm: ponp ekipe ak de direksyon opoze a wotasyon senkronik nan fòm nan doub lam oswa milti-lam wotasyon ki gen fòm, ant rotor a, rotor la ak miray la koki ponp yo kenbe ant yon espas sèten. Li fè pati ponp vakyòm Rotary. Ponp rapèl mekanik se kalite ponp vakyòm sa a.
2) momantòm ponp transfere
Ponp lan konte sou segondè-vitès wotasyon lam oswa avyon gwo vitès transmèt momantòm nan gaz la oswa molekil gaz, se konsa ke gaz la kontinyèlman soti nan admisyon ponp lan nan priz la. Espesifik ka divize an kalite sa yo.
(1) molekilè ponp vakyòm: li se itilize nan gwo vitès wotasyon transmisyon rotor enèji nan molekil yo gaz, se konsa ke konpresyon an, echapman yon ponp vakyòm. Li vini nan kalite sa yo:
Ponp molekil Traction: molekil gaz ak gwo vitès mouvman nan kolizyon an rotor ak momantòm jwenn, yo te voye nan ekspòtasyon an, Se poutèt sa, se yon kalite ponp transfè momantòm.
(2) turbine molekilè ponp: ponp ak disk plonje oswa rotor ak lam, li nan disk la stator (oswa stator) wotasyon. Vitès lineyè sikonferans rotor la trè wo. Ponp lan nòmalman opere nan yon eta koule molekilè.
(3) konpoze molekilè ponp: li se pa turbine ak kalite traction de molekilè ponp seri konbinezon de yon konpoze molekilè vakyòm ponp.
Ponp lan vakyòm jè: li se yon kalite ponp transfè momantòm ki pran avantaj de gout presyon Venturi efè yo pwodwi jè gwo vitès transpòte gaz nan priz la, apwopriye pou travay nan koule gluan ak eta koule tranzisyon an. Ka ponp sa a ap divize an sa yo an detay:
Ponp likid piki vakyòm: likid (anjeneral dlo) kòm mwayen k ap travay nan piki a vakyòm piki.
(2) ponp vakyòm gaz: gaz ki pa kondenabl tankou mwayen kap travay nan ponp vakyòm lan.
(3) vapè piki ponp vakyòm: vapè (dlo, lwil oliv oswa mèki ak lòt vapè) kòm mwayen nan travay nan piki a vakyòm piki.
Ponp difizyon se ba presyon ki ba koule vitès koule (lwil oliv oswa vapè mèki) kòm mwayen nan travay nan ponp lan vakyòm jè. Molekil yo nan gaz la difize nan kouran an vapè epi yo voye nan priz la. Dansite molekilè gaz la toujou ba anpil nan koule jè a. Èske yo kapab divize an:
(1) oto-pou pirifye difizyon ponp: ponpe likid enpurte volatil pa espesyal transmisyon mekanik nan ekspòtasyon an epi yo pa tounen nan chodyè a nan yon ponp difizyon lwil oliv.
(2) ponp difizyon kalite fraksyon: ponp sa a gen yon aparèy fraksyon, se konsa ke presyon an vapè ki ba k ap travay vapè likid nan vakyòm nan segondè bouch k ap travay, ak presyon an vapè se segondè k ap travay vapè likid nan bouch la ki ba vakyòm ap travay, li se yon ponp difizyon milti-etap lwil.
Ponp jè difizyon: li se yon ponp transfè momantòm ki konpoze de yon sèl-etap oswa milti-etap bouch ak karakteristik ponp difizyon ak yon sèl-etap oswa bouch milti-etap ak karakteristik ponp vakyòm jè nan seri. Lwil oliv ponp rapèl se nan kalite sa a.
Ponp transfè Ion: se yon ponp transfè momantòm ki transfere gaz ionized nan priz la anba aksyon an nan jaden elektwomayetik oswa jaden elektrik.
2. gaz kaptire ponp
Ponp sa a se yon molekil gaz adsorption oswa kondansasyon sou sifas enteryè nan ponp lan, kidonk diminye kantite molekil gaz nan veso a reyalize objektif la nan ponpe ponp vakyòm, gen kalite sa yo.
1) ponp adsorption
Li sitou depann sou gwo sifas adsorbant (tankou materyèl pore) adsorption fizik pou ponpe yon tip de pèseptè vakyòm ponp.
2) ponp pikeur
Li se yon ponp vakyòm ki itilize pikeur pran gaz pa konbinezon chimik. Yon metal oswa alyaj anjeneral nan fòm yon boul oswa depoze fim fre. Ponp sublimasyon se kalite sa a.
3) ponp ion pikeur
Li se fè gaz la ironize nan aksyon an nan jaden elektwomayetik oswa absorption elektrik jaden sou sifas la nan materyèl la te respire, yo nan lòd reyalize bi pou yo ponpe gaz. Li vini nan plizyè fòm jan sa a.
Ponp ion evaporatwa: yon ponp vakyòm nan ki gaz ionized se absòbe sou yon materyèl pou aspirasyon ki sublime (oswa evapore) nan yon mank oswa kontinyèl fason epi li se kouvri pa miray anndan an nan ponp lan reyalize aspirasyon.
Ponp nan ion sputtering: ponp la se ionized adsorption gaz pa katod la sputtering kontinyèl soti nan materyèl la pikeur, yo nan lòd yo reyalize objektif la nan yon ponp vakyòm.
Ponp tanperati ki ba
Yon ponp vakyòm ki itilize yon sifas ki ba tanperati a gaz pèlen
3. Vacuum ponp pèfòmans paramèt ak ran de itilize
Paramèt pèfòmans nan ponp vakyòm
1) ultim presyon nan ponp vakyòm
Inite presyon final la nan ponp lan se PA, ki vle di ki pi ba presyon an ki estab lè se ponp lan ekipe ak yon kouvèti tès estanda nan papòt la ak opere anba kondisyon espesifik san entwodwi gaz pou operasyon nòmal.
2) pousantaj ekstraksyon ponp vakyòm lan
Inite ponp lan ponp la se m3 / s oswa l / s, ki vle di rapò a nan koule gaz la nan kouvèti a tès ak presyon nan ekilib mezire nan pozisyon yo deziyen nan kouvèti a tès lè se ponp lan ekipe ak yon estanda. kouvri tès ak opere anba kondisyon espesifye. Vitès ponp.
3) ekstraksyon kapasite ponp vakyòm lan
Inite kapasite ekstraksyon ponp vakyòm lan se Pa m3 / s oswa Pa l / s. Refere a koule nan gaz ponp Inlet.
4) kòmanse presyon nan ponp vakyòm
Inite a nan kòmanse presyon nan ponp lan vakyòm se PA, ki refere a presyon an lè se ponp lan te kòmanse san domaj epi ki gen efè a nan ponpe.
5) pre-etap presyon nan ponp lan
Inite presyon ponp vakyòm lan se PA, li refere a presyon echapman an mwens pase yon atmosfè nan presyon ponp vakyòm.
6) maksimòm pre-etap presyon nan ponp lan vakyòm
Maksimòm inite pre-presyon nan pò ponp vakyòm lan se PA, ki vle di presyon ki depase presyon presyon ki ka fè dega ponp lan.
7) maksimòm presyon k ap travay nan ponp vakyòm
Inite presyon maksimòm k ap travay nan yon ponp vakyòm se PA, ki refere a presyon nan Inlet ki koresponn a kantite maksimòm lè ponpe. Nan presyon sa a, ponp la ka kontinye travay san yo pa deteryorasyon oswa domaj.
8) rapò konpresyon
Rapò a konpresyon se rapò a nan presyon priz ponp lan nan Inlet presyon an pou yon gaz bay yo.
9) koyefisyan ho
Rapò a nan vitès la ponp aktyèl sou zòn nan nan kanal la ponpe nan teyorik ponpe vitès la kalkile sou baz efusion molekilè.
10) ponpe koyefisyan vitès
Rapò a nan vitès la ponp aktyèl nan ponp lan nan teyorik ponpe vitès la kalkile nan efilman molekilè nan Inlet la ponp.
11) to rflu
Inite a nan pousantaj rflu nan ponp la se g / cm2.s. Li se nan pwen lè ponp lan ap travay selon kondisyon formulèr, pousantaj la koule mas ki pase ponp Inlet inite zòn.
12) kantite lajan admisib nan vapè dlo
Inite admisib la nan vapè dlo a se kg / h, ki vle di koule nan mas nan vapè dlo ki ka retire pa ponp a lè ballast pandan operasyon kontinyèl anba kondisyon nòmal.
13) maksimòm admisib vapè Inlet presyon
Inite maksimòm ki akseptab nan vapè presyon Inlet se PA. Li refere a presyon an admisyon maksimòm de vapè dlo ki ka retire pa ponp la ballast pandan operasyon kontinyèl nan kondisyon anviwònman nòmal.
4. Dimansyon itilizasyon ponp vakyòm
Paske tout kalite ponp vakyòm gen diferan ranje presyon k ap travay ak presyon kòmanse, se konsa seleksyon an nan ponp vakyòm dwe satisfè kondisyon sa yo. Tab 3-1 montre ranje a presyon k ap travay ak kòmanse presyon nan plizyè ponp vakyòm komen pou referans.
Tab 3-1 ranje presyon k ap travay ak kòmanse presyon nan ponp vakyòm komen
Kalite ponp Vacuum | Fonksyònman presyon ranje (PA) | Kòmanse presyon (Pa) |
Ponp vakyòm Piston Ponp Rotary Vane v acuum Dlo bag ponp vakyòm Rasin ponp vakyòm Turbomolecular pump Ponp jè machin vapè Ponp difizyon lwil Ponp vapè lwil oliv Molekilè Van ponp adsorption Sputtering ion pump Titàn ponp sublimasyon Ponp Zircony aliminyòm getter Ponp tanperati ki ba | 1 × 10 5 - 1.3 × 10 2 1 × 10 5 - 6.7 × 10 -1 1 × 10 5 - 2.7 × 10 3 1.3 × 10 3 - 1.3 1 .3 - 1.3 × 10 -5 1 × 10 5 - 1.3 × 10 -1 1.3 × 10 -2 - 1.3 × 10 -7 1.3 × 10 - 1.3 × 10-2 1 × 10 5 - 1.3 × 10 -1 1.3 × 10 -3 - 1.3 × 10 -9 1.3 × 10 -2 - 1.3 × 10 -9 1.3 × 10 - 1.3 × 10 -11 1.3 - 1.3 × 10 -11
| 1 × 10 5 1 × 10 5 1 × 10 5 1.3 × 10 3 1.3 1 × 10 5 1.3 × 10 <> × 10 5 1 × 10 5 6.7 × 10 -1 1.3 × 10 -2 1.3 × 10 1.3 - 1.3 × 10 -1
|
5. Travay la nan ponp vakyòm nan sistèm vakyòm
Paske pèfòmans tout kalite ponp vakyòm ka satisfè pwen komen nan pase aspiratè veso a, gen toujou diferans. Se poutèt sa, li trè enpòtan fè klè travay yo travay nan ponp lan nan sistèm lan vakyòm. Fonksyon yo nan ponp lan nan jaden travay divès ka rezime jan sa a
1) ponp prensipal nan sistèm lan
Sa yo rele ponp prensipal la se ponp lan vakyòm ki dirèkteman vid vakyòm sistèm lan ke yo te ponpe pa veso a yo nan lòd yo jwenn degre nan vakyòm bezwen satisfè kondisyon yo teknolojik.
2) ponp ki graj ponpe
Gwo ponp refere a sistèm nan vakyòm soti nan presyon atmosferik diminye presyon an nan yon lòt sistèm ponpe ka kòmanse ap travay ponp vakyòm.
3) ponp devan etap la
Ponp devan etap la se yon ponp vakyòm itilize yo kenbe presyon nan etap nan devan nan yon lòt ponp anba a presyon maksimòm admisib li yo
4) ponp antretyen
Ponp antretyen refere a lè sistèm lan vakyòm ponpe se piti anpil, pa ka efektivman sèvi ak ponp lan devan prensipal la. Pou sa ka fèt, nan sistèm lan vakyòm ak yon pi piti ponpe vitès nan ponp lan devan oksilyè kenbe operasyon an nòmal nan ponp prensipal la oswa kenbe ponp lan vakyòm te evakye veso a egzije ba presyon.
5) koryas ponp vakyòm oswa ponp vakyòm ki ba
Ponp kochon ak ba vakyòm refere a ponp lan vakyòm k ap travay nan vakyòm nan ki ba oswa ki graj ranje presyon vakyòm apre kòmanse nan atmosfè a ak diminye presyon an nan veso a ponpe.
6) ponp vakyòm segondè
Segondè ponp vakyòm refere a ponp lan vakyòm opere nan seri a vakyòm segondè.
7) ultra segondè ponp vakyòm
Ultra segondè ponp vakyòm refere a ponp lan vakyòm opere nan seri a ultra vakyòm segondè.
8) ponp rapèl
Ponp Booster anjeneral refere a travay ki genyen ant ponp lan vakyòm ki ba ak ponp vakyòm segondè a, yo nan lòd yo amelyore sistèm lan ponpe nan seri a presyon mitan oswa diminye pousantaj la ponpe nan kondisyon yo ponp devan vakyòm ponp vakyòm.
6. Modèl ponp lan ak espesifikasyon nan metòd reprezantasyon
Dapre estanda endistri mekanik JB / t7673-95 nan Repiblik Pèp la nan Lachin, plizyè ponp vakyòm domestik yo fòme ak de pati: debaz kalite ak tip oksilyè, ak yon liy orizontal ant yo. Modèl la ekspresyon se 123 - 456. Nimewo a 123 endike modèl debaz la ak 456 endike modèl la oksilyè.
Modèl ponp vakyòm domestik yo anjeneral reprezante pa alfabè a fonetik Chinwa nan tablo 3-2. Si lèt la pinyin la devan pawòl Bondye a "2", sa vle di ke ponp lan nan estrikti a nan ponp lan de-etap yo.
Gen kèk seri ponp vakyòm ki gen yon klas jewometrik pou to fè ekstraksyon yo. Inite yo se L / S. Gen 18 klas, 0.2, 0.5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. Seri ponp bale pafwa eksprime an tèm de ponp Inlet dimansyon nan "mm". Kòm plis kalite ponp, seleksyon an ta dwe refere a manifaktirè yo diferan nan pwodwi espesifikasyon, se trè enpòtan.
Tab 3-2 Chinwa kòd pinyin ak non souvan itilize ponp vakyòm
Kòd | Non | Kòd | Non |
W | ponp à | Z | Ponp jè difizyon lwil (ponp rapèl lwil) |
D | ponp vakyòm Rotary Piston | S | ponp sublimasyon |
X | glisman ponp otomatik vane | LF | Ponp ion konpoze |
H | · Rotary plunger pump pump | GL | Ponp Zircony aliminyòm getter |
ZJ | Rasin ponp vakyòm (ponp rapèl mekanik) | DZ | · Cryopump frijidè
|
YZ | ponp vakyok trokoyid | DG | Ponp kriyojeni perfusion |
L | ponp jut sputter | SI | · ponp molekil absorbisyon Van |
XD | Ponp vakyòm multirotary yon sèl etap vakyòm | SZ | ponp bag dlo |
F | ponp molekilè | PS | ponp jè dlo |
K | Ponp vapè difizyon lwil la | P | ponp èkajètè vapè |
IKS PVD, nou gen ekip pwofesyonèl nan konsepsyon Layout ponp Vacuum nan machin PVD kouch vakyòm, kontakte avèk nou kounye a, iks.pvd @ foxmail.com